في قاعة التصنيع، يمكن لانحراف بمقدار 0.5 درجة مئوية في درجة حرارة الفرن المستخدم في تجفيف المواد الفوتورزيستية أن يؤدي إلى تغيير في عرض الخطوط بمقدار نانومترات، وهذا بدوره يؤدي إلى رفض كميات كبيرة من المنتجات النهائية. لذلك، صممنا فرن الطباعة الضوئية باستخدام أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، حتى يتسنى توفير حرارة سريعة ومباشرة، مما يساعد على الحفاظ على استقرار درجة الحرارة خلال الخطوات الحرارية الحرجة.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ يعمل الفرن في نطاق أشعة تحت الحمراء القريبة، مما يسمح للمواد الفوتورزيستية بامتصاص الحرارة بكفاءة. يقل وقت التسخين، لكن درجة الحرارة على سطح الرقاقة تظل مستقرة. يكون التنوع في درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن دقة العملية مضمونة بفضل استخدام أجهزة قياس درجة الحرارة في نقاط محددة من عملية التصنيع. كما أن المواد المستخدمة متوافقة مع معايير الغرف النظيفة، ولا يوجد أي انبعاثات غازية، وتصميم الفرن يساعد على الحفاظ على مستوى الجسيمات في الحدود المطلوبة. يعمل النظام على مدار 24 ساعة في اليوم، مع فترات صيانة محددة، مما يقلل من فترات التوقف غير المخطط لها.
لماذا ينجح هذا النظام في الواقع؟ في عملية تجفيف الرقاقات، تساعد أشعة تحت الحمراء القريبة في إزالة الرطوبة من سطح الرقاقة دون إلحاق الضرر بالطبقات الموجودة على سطحها. أما في عملية التسخين الخفيف، فإن المذيبات تتبخر بشكل نظيف، مما يؤدي إلى تحسين قوة الالتصاق وتقليل الرواسب. أما في عملية التسخين الشديد وتصلب المواد الفوتورزيستية، فإن درجة الحرارة يتم التحكم فيها بدقة، مما يؤدي إلى تحسين دقة النتائج وتقليل الحاجة إلى إعادة العملية. النتيجة هي إنتاجية مستقرة، وأوقات دورة أقصر، بالإضافة إلى استهلاك طاقة أقل لكل رقاقة، لأن الحرارة تصل إلى المكان المطلوب بالضبط.
ما يجب أخذه في الاعتبار: أشعة تحت الحمراء القريبة تسخن بسرعة، لذا فإن التوصيل الحراري وحالة الفرن مهمان جدًا. نحن نوفر مجموعة واجهات حرارية مناسبة، كما نوصي بإجراء معايرة دورية لأجهزة قياس درجة الحرارة للحفاظ على الدقة. يمكن استخدام الفرن مع المنصات القياسية للطباعة الضوئية ومعدات الغرف النظيفة، لكن يتطلب الأمر وجود دائرة كهربائية بجهد 208–240 فولت، بالإضافة إلى نظام تهوية فعال. استقرار درجة الحرارة وتوازن التهوية يعتمدان على ذلك. يجب القيام بتجربة قصيرة للتأكد من توحيد درجة الحرارة ودقة العملية وفقًا لخصائص المواد المستخدمة.