300mm লাইন
300mm লাইনে একটি ভেজা ওয়েফার থাকলে এটি একটি লাইন স্টপ। অবশিষ্ট আর্দ্রতা মানে হল স্ট্রেক, কণিকা এবং লিথোগ্রাফিতে যাওয়ার আগেই উৎপাদন ক্ষতি। আমরা ধোয়া করার পর দ্রুত শুষ্ক করার একটি মডিউল তৈরি করেছি যাতে ধোয়া থেকে শুষ্ক হওয়ার স্থানান্তর একটি নিয়ন্ত্রিত তাপীয় ধাপে পরিণত হয়, এটি কোনও জুয়া নয়।
অন্তর্নিহিত গুরুত্বপূর্ণ দিক আমরা কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন সেটআপে শর্ট-ওয়েভ এবং মিডিয়াম-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করি, দ্রুত শক্তি প্রদান করি যখন স্পেকট্রামটি টাইট রাখি যাতে ফটোরেজিস্টের এক্সপোজার ঝুঁকিতে না পড়ে। ওয়েফারের তাপমাত্রা সামঞ্জস্য ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, এবং শিফট-টু-শিফট পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ±0.2°C এর মধ্যে থাকে। ল্যাম্প মডিউল ক্লাস 1–100 এর জন্য ক্লিনরুম-প্রস্তুত, এবং টুল স্তরে শূন্য কণার উৎপাদন নিশ্চিত করা হয়েছে। আউটপুট 5,000+ ঘণ্টা ধরে 1% এর মধ্যে স্থিতিশীল থাকে, তাই আপনি 24/7 চালাতে পারেন এবং কোনও চমক ছাড়াই রক্ষণাবেক্ষণের পরিকল্পনা করতে পারেন।
এটি কেন মেঝেতে আটকে থাকে ধোয়ার পর, ওয়েফার একটি নির্ধারিত তাপীয় ক্ষেত্রে প্রবেশ করে যা দ্রুত এবং সমানভাবে পৃষ্ঠের জল বাষ্পীভূত করে। আপনি একটি শুষ্ক, অবশিষ্টাংশ মুক্ত পৃষ্ঠ পান যা নরম বেক বা কঠিন বেকের জন্য প্রস্তুত—কোনও তাপীয় ওভারশুট নেই। আপনি ভেজা থেকে শুষ্কে স্থানান্তরকে সংক্ষিপ্ত করেন, বহনকারী ত্রুটিগুলি কমান, এবং ফটোরেজিস্টের তাপীয় বাজেট রক্ষা করে গুরুত্বপূর্ণ মাত্রার নিয়ন্ত্রণকে টাইট করেন। পালস নিয়ন্ত্রণ এবং দ্রুত উষ্ণায়নIdle শক্তি কম রাখে কর্মক্ষমতা sacrifice না করে।
আপনার কি ঠিক করতে হবে ইনস্টলেশন ল্যাম্পের ফুটপ্রিন্ট ট্র্যাক শেষ কার্যকরী অংশের সাথে মেলে এবং বিম প্রোফাইলকে ওয়েফারের প্রান্তের ব্যতিক্রমের সাথে সামঞ্জস্য করার দিকে মনোনিবেশ করতে হবে। সলভেন্ট রসায়ন এবং ধোয়ার তাপমাত্রার জন্য মডিউলটি টিউন করুন যাতে আপনি পার্থক্যজনক বাষ্পীভবন না পান। একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং লট চালান যাতে অবস্থান সময় এবং তীব্রতা নির্ধারণ করা যায়, এবং প্রক্রিয়াটি ফটোরেজিস্টের তাপীয় উইন্ডোর মধ্যে রাখতে হবে।