Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie in einer Reinraumumgebung der Klasse 100 arbeiten, ist das Letzte, was Sie benötigen, dass die Heizelemente Partikel auf Ihre Ausrüstung abgeben. Das kommt häufiger vor, als man glaubt. Herkömmliche Heizelemente neigen dazu, während der thermischen Prozesse abzublättern oder Gase abzugeben – und wenn das passiert, sind Ihre Wafer oder Hochpräzisionsoptiken ruiniert.
Wir lösen dieses Problem, indem wir hochreinen synthetischen Quarz für die IR-Lampen verwenden. Diese Lampen sind speziell dafür konstruiert, in Vakuumkammern zu funktionieren, ohne Unordnung zu verursachen.
Das Geheimnis liegt im Quarz
Wir verwenden gesinterten Siliziumdioxid, aus dem alle metallischen Verunreinigungen entfernt wurden. Warum? Weil die Lampe bei hoher Temperatur keine flüchtigen organischen Verbindungen freisetzen sollte.
Manche Menschen verwenden beschichtete Lampen – doch diese können im Laufe der Zeit abblättern. Unser durchsichtiger Quarz bleibt hingegen stabil. Er blättert nicht ab und kann auch extreme Temperaturschwankungen ohne Risse überstehen. Er funktioniert einfach perfekt.
Einbau in die Vakuumkammer
Der Einbau dieser Lampen in die Vakuumanlage erfordert Aufmerksamkeit bei den Details. Wir gestalten die Lampen so, dass sie Druckschwankungen aushalten können – somit müssen Sie sich keine Sorgen um Lecks machen.
Tipp: Stellen Sie sicher, dass die Dichtungen um die Anschlüsse luftdicht sind. Da es kein Luftstrom gibt, der die Wärme wegtransportieren könnte, erfolgt die Wärmeübertragung über Strahlung. Die Energie gelangt direkt auf das Werkstück. Das ist effizient – aber auch intensiv.
Dinge, auf die Sie achten müssen
Hochreiner Quarz eignet sich zwar hervorragend für IR-Energie, ist aber empfindlich. Eine unvorsichtige Handhabung beim Einbau kann dazu führen, dass der Quarzröhren zerbricht.
Außerdem erzeugen diese Lampen sehr viel lokale Wärme – daher müssen die Kühlsysteme richtig eingestellt werden. Andernfalls können die Wände der Vakuumkammer verformt werden – und das ist äußerst schwierig zu beheben.
Den Betrieb aufrechterhalten
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie schnell ausgetauscht werden können – schließlich mag niemand Stillstandszeiten in der Reinraumumgebung.
Beim Einbau sollten Sie vorsichtig mit den Anschlüssen umgehen. Verwenden Sie den richtigen Drehmoment – überziehen Sie die Anschlüsse nicht, sonst entstehen Spannungsrisse im Quarz.
Und falls die Leistung der Lampe nachlässt: Versuchen Sie nicht, die Lampe mit zu hoher Spannung zu betreiben, um das Problem zu beheben. Das führt nur dazu, dass der Glühfaden beschädigt wird. Tauschen Sie einfach die Röhre aus und kalibrieren Sie Ihren PID-Controller neu. So sparen Sie sich auf lange Sicht viele Probleme.