در کارخانه‌های تولید، رطوبت موجود در فوتورزیست یا روی سطح ویفر، پس از قرار گرفتن در معرض نور، می‌تواند باعث اختلال در ابعاد حیاتی ویفر شود. اگر این...

در مرحله پردازش، ویفر از آب خارج می‌شود و زمان شروع فرآیند اندازه‌گیری آغاز می‌گردد. هرگونه رطوبت باقی‌مانده، منجر به ایجاد مشکلاتی مانند اتصالات...