Sur le plancher de production, vous savez comment ça se passe : une dérive de 0,3°C lors du cuisson du photoresist suffit à perdre un lot entier. La lampe infrarouge SK15 pour fours à wafers a été conçue pour arrêter cette dérive à sa source. Elle agit directement sur le budget thermique, de sorte que les profils de cuisson douce et cuisson dure restent stables, et les dimensions critiques restent contrôlées.
Ce qui compte, techniquement
La SK15 utilise le NIR à ondes courtes, ce qui permet un chauffage rapide et volumétrique avec une faible inertie thermique. Sur le plan du wafer, l’uniformité se maintient à ±0,1°C, et la répétabilité est garantie d’un tir à l’autre. L’émetteur reste propre — pas de génération de particules, pas de dégazage — ce qui maintient le respect des contraintes de salle blanche Classe 1–100. La puissance reste stable au-delà de 5 000 heures, avec une baisse inférieure à 5 %, et l’emprise de la lampe correspond aux entrées standard des fours, avec un montage sécurisé et reproductible.
Les fours à wafers nécessitent une chaleur qui frappe rapidement, se stabilise rapidement et ne laisse rien en excès. La SK15 maintient la chambre à la consigne sans dépassement, ce qui raccourcit la phase de montée en température et de stabilisation. Le résultat se traduit par un débit accru, moins de lots à retravailler et moins de rebuts.
Les profils de photoresist restent constants entre lots et équipes, ce qui améliore la superposition et l’uniformité des dimensions critiques. Et comme les paliers sont plus courts et stables, la consommation énergétique diminue — réduisant ainsi le coût de fonctionnement par wafer.
Voici quelques éléments à garder à l’esprit. La SK15 est compatible avec la plupart des plateformes de fours à wafers, mais la géométrie du four, la disposition des réflecteurs et le flux d’air influencent toujours l’uniformité finale. Prévoyez un court cycle de mise en service pour régler le PID et confirmer que le profil de cuisson correspond à l’empilement du resist. Vous consacrerez un peu plus de temps en phase de configuration, puis vous bénéficierez d’une performance stable avec un entretien réduit.