Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Lorsque vous travaillez dans un environnement de classe 100, la dernière chose dont vous avez besoin, c’est que l’élément de chauffage libère des particules partout dans votre équipement. Cela arrive plus souvent que les gens ne le pensent. Les chauffages standard ont tendance à se dégrader ou à libérer des gaz toxiques au cours des cycles thermiques. Si cela se produit, vos wafer ou vos composants optiques haute précision seront ruinés.
Pour éviter cela, nous utilisons des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté. Elles sont conçues spécialement pour fonctionner dans des chambres à vide sans provoquer de problèmes.
Le secret réside dans le quartz
Nous utilisons du silice fusionnée, débarrassée de toutes impuretés métalliques. Pourquoi ? Parce que lorsque la lampe atteint sa température maximale, on ne veut pas qu’elle libère des composés organiques volatils.
Certaines personnes utilisent des lampes revêtues, mais celles-ci peuvent se détacher avec le temps. Notre quartz transparent reste stable : il ne se détache pas et résiste aux chocs dus aux fluctuations de température sans se briser. Il fonctionne simplement parfaitement.
Installer ces lampes dans la chambre à vide
L’installation de ces lampes dans une chambre à vide exige beaucoup de précision. Nous les concevons de sorte qu’elles puissent supporter les différences de pression, afin d’éviter toute fuite d’air.
Un conseil : assurez-vous que les joints autour des connexions soient hermétiques. Comme il n’y a pas d’air pour transporter la chaleur, celle-ci est transmise directement au matériel à traiter. C’est efficace, mais intense.
Quelques points importants à prendre en compte
Le quartz de haute pureté est idéal pour les rayons infrarouges, mais il est fragile. Un geste maladroit pendant l’installation peut endommager le tube. De plus, comme ces lampes génèrent beaucoup de chaleur localisée, il est important de bien configurer les systèmes de refroidissement. Sinon, les parois de la chambre à vide pourraient se déformer, ce qui représente un véritable problème à résoudre.
Maintenir le fonctionnement optimal
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées rapidement, car personne n’aime les temps d’arrêt dans une salle propre. Lors de l’installation, veillez bien à utiliser les bons paramètres de serrage des connecteurs. Ne les serrez pas trop fort, sinon vous risquez de créer des fissures dans le quartz.
Et si vous remarquez que la puissance de la lampe diminue ? Évitez de suralimenter la lampe pour compenser. Cela pourrait endommager le filament. Remplacez simplement le tube et recalibrez votre contrôleur PID. Vous éviterez ainsi de nombreux problèmes à long terme.