Sur le plan de fabrication, l’humidité présente dans le photorésistant ou directement sur la surface de la wafer peut endommager les dimensions critiques après l’exposition. Si on ne se débarrasse pas de cette humidité, cela entraîne des problèmes tels que des défauts de surface ou des résidus d’usinage qui peuvent rendre toute une série de wafer non exploitables. C’est pourquoi nous utilisons une lampe de séchage de l’humidité présente sur les wafer : elle élimine les variations dues à l’humidité.
Ce qui est important Nous avons conçu cette lampe pour assurer une réponse thermique rapide et fiable. Les éléments halogènes permettent une intensité lumineuse élevée et des longueurs d’onde courtes, ce qui permet à la surface de se réchauffer rapidement. L’enveloppe en quartz garantit une stabilité constante, même en fonctionnement continu. Résultat : une uniformité thermique de ±0,1 °C dans toute la zone active, ce qui permet d’obtenir des résultats reproductibles lors des processus de séchage. Le contrôle de température est suffisamment précis pour protéger le photorésistant, et l’intensité lumineuse est ajustée pour assurer un séchage rapide sans excès de chaleur.
Pourquoi elle convient à la cellule de lithographie En lithographie, il est nécessaire que la wafer soit sèche et stable avant l’exposition, puis qu’elle subisse un séchage uniforme par la suite. Cette lampe permet de sécher rapidement la surface de la wafer, tout en maintenant une température constante pendant les processus de séchage. Une telle uniformité réduit les retouches nécessaires, maintient les niveaux de particules dans les limites autorisées dans les salles propres de classe 1–100, et permet un contrôle précis de la rugosité de surface pendant l’usinage. De plus, l’utilisation d’énergie reste raisonnable, grâce au temps de montée en température rapide – moins de chaleur inutile et moins de charge de refroidissement.
Les détails pratiques L’installation est simple, mais il est encore nécessaire de régler l’alignement et la distance focale en fonction du processus à suivre. L’intensité lumineuse varie en fonction de la distance, il est donc utile de calibrer la lampe une fois pour qu’elle fonctionne correctement. Après une maintenance ou un remplacement de la lampe, il faut attendre un court laps de temps pour que celle-ci atteigne sa température optimale. Lorsque la lampe est correctement calibrée, elle assure un séchage efficace et reproductible, jour après jour.