בקו ה-300 ממ, תהליך החימום של הפוטורזיסט הוא השלב שבו אנו יכולים לנצל את האנרגיה התרמית בצורה יעילה, או לבזבז אותה. חוסר אחידות בטמפרטורה יוביל במהירות לשינויים ברוחב הקווים על פני הוואפר. ואם תהליך החימום ייפגע עקב פליטת גזים או יצירת חלקיקים, יהיה צורך בעבודה נוספת. יש צורך במקור חום שישמור על טמפרטורה יציבה, ישירות אחרי ירייה לאחר ירייה, מבלי לגרום לבעיות בחדר הנקי.
מה חשוב בתהליך החימום אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום המבוססות על מוליבדן – חוטי מוליבדן בעלי רמת פליטה גבוהה, הנמצאים בתוך מעטפת קוורץ שמותאמת לגלי אינפרא-אדום קצרים. הספקטרום של האור תואם את רמת הספיגה של הפוטורזיסט, כך שניתן להסיר את הממסים במהירות, תוך שהמשטח של הוואפר נשאר יציב.
באזור החימום, האחידות בטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והשחזוריות טובה יותר – בטווח של ±0.2°C בין ירייה לירייה. המבנה של מוליבדן שומר על גאומטריה יציבה גם תחת עומס תרמי, כך שאין נקודות חמות או קצוות קרים. האור נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם סטייה של פחות מ-5% בעוצמה. גוף הנורה מיוצר לשימוש בחדרי נקייה מסוג Class 1–100, והיא אינה יוצרת שום חלקיקים במצב יציב.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה תהליכי חימום רכים וקשים קובעים את הממדים הקריטיים של המוצר. עם נורה זו, ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, לשמור עליה ללא סטיות, ולהפחית את השונות בכמות הממסים שנשארים על הוואפר. זה מביא לשליטה טובה יותר בממדים של המוצר, לפחות תמונות לא ברורות, ולפחות פסולת. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהתגובה של הנורה היא מיידית וזמן החימום קצר יותר. האמינות של התהליך גם היא משתפרת – יש פחות הפסקות בלתי צפויות עקב החלפת הנורה – וניתן להרחיב את טווח הפעולה של התהליך מבלי לשנות את ההוראות.
כמה הערות מעשיות ההתקנה תלויה בפולריות ובזרימת המי קירור. אם אלו לא תקינים, חיי הנורה יקצרו והאחידות בטמפרטורה תפחת. הנורה עובדת עם אותות בקרה סטנדרטיים של 24V ועם חיבורים נפוצים של OEM, אך עדיין יש צורך לבדוק את ההתאמה של המחזיר בהתקנה הראשונה.
יש לצפות לתקופת התחממות עד שהנורה תגיע למצב יציב. לאחר החלפת הנורה, יש לעשות כיול מחדש של חדר החימום כדי לשמור על האחידות בטמפרטורה של ±0.1°C.