जैसे ही वेफर रिन्सिंग प्रक्रिया से बाहर आता है, टाइमर शुरू हो जाता है। अगर कोई नमी बच जाती है, तो यह रेजिस्ट सतह पर दिखाई देती है; ऐसी स्थिति में उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। इसलिए आवश्यक है कि पानी जल्दी से हट जाए – बिना ऊष्मा-खर्च में वृद्धि किए, और बिना किसी कण के जुड़ने के।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने नमी हटाने हेतु ऐसा लैंप बनाया है, जिसमें क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगें उपयोग में आती हैं। रिफ्लेक्टर की व्यवस्था के कारण ऊष्मा फिल्म पर ही पड़ती है, न कि कैरियर पर। इससे प्रकाशित क्षेत्र में तापमान समान रहता है; इसलिए फोटोरेसिस्ट का तापमान निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रहता है। क्लीनरूम में इसका उपयोग संभव है – क्लास 1–100 में इसका उपयोग संभव है, क्योंकि इसमें कम गैस निकलती है, जोड़ों सील रहते हैं, एवं कणों की संख्या भी स्थिर रहती है। हजारों चक्रों में भी आउटपुट में केवल 1% की विचलन होती है; सिस्टम मिलीसेकंडों में ही सेटपॉइंट को ट्रैक करता है, ताकि महत्वपूर्ण आयाम स्थिर रहें।
लिथोग्राफी में इसका क्या उपयोग है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, यह लैंप रेजिस्ट लगाने से पहले ही सतह से नमी हटा देता है; इससे “ड्यूवेटिंग” एवं “एज बीड” जैसी समस्याएँ नहीं होतीं। बेकिंग प्रक्रिया में, यह हर बार एक ही जगह पर एक ही तापमान प्रदान करता है; इससे Ttop एवं Tbottom में कोई विचलन नहीं होता। ऐसी स्थिरता से प्रक्रिया जल्दी पूरी हो जाती है, पुनर्कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती, एवं ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है – क्योंकि लैंप केवल लक्षित क्षेत्र को ही गर्म करता है। विश्वसनीयता के लिहाज से, यह लैंप 5,000 घंटों से अधिक समय तक काम कर सकता है, एवं आउटपुट में केवल 5% की ही कमी होती है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
यह लैंप मानक SEMI इंटरफेसों के साथ काम करता है; लेकिन इंटीग्रेशन हेतु ऊष्मा-प्रबंधन एवं गैस-निकासी प्रणाली पर ध्यान देना आवश्यक है। क्वार्ट्ज आवरण मैकेनिकल झटकों को सहन नहीं कर सकता; इसलिए इसके हैंडलिंग एवं माउंटिंग हेतु निर्धारित टॉर्क एवं अलाइनमेंट का पालन आवश्यक है। क्लीनरूम-उपयुक्त पावर एवं सिग्नल हार्नेस का उपयोग आवश्यक है; साथ ही, प्रक्रिया में उपयोग होने वाली गैसें एवं एक्जॉस्ट गैसें भी सामग्री-सूची के अनुरूप होनी चाहिए।