Fermate i frammenti di vetro: perché il ciclo di risciacquo richiede lampade IR impermeabili
Se avete mai avuto problemi con una lampada infrarossa che si è rotta durante il ciclo di risciacquo, sapete bene quanto possa essere grave la situazione. È un incubo: non dobbiamo affrontare soltanto un componente danneggiato, ma anche frammenti di vetro e sostanze chimiche sparse ovunque sui wafer. Si tratta di una contaminazione immediata e costosa.
Siamo stanchi di vedere che cosa succede in questi casi, quindi abbiamo creato delle lampade IR impermeabili che riescono davvero a resistere alle condizioni estreme.
Il problema legato all’acqua
Il problema è questo: quando le gocce d’acqua colpiscono un tubo di quarzo caldo, la temperatura in quel punto diminuisce immediatamente. Questo fenomeno viene chiamato “shock termico”. Ciò provoca la formazione di piccolissime crepe, invisibili a occhio nudo. Ma quando si lavora a alta velocità, queste crepe crescono fino a far scoppiare il tubo.
Per risolvere questo problema, abbiamo utilizzato un tipo speciale di quarzo, caratterizzato da un coefficiente di espansione termica inferiore. In altre parole, questo materiale può sopportare meglio gli effetti dell’umidità senza spezzarsi.
Impedire l’ingresso dell’acqua
Una lampada normale, in un ambiente umido, rappresenta praticamente una bomba a orologeria. Abbiamo quindi aggiunto un sistema di sigillamento attorno agli estremi della lampada, per impedire all’umidità di entrare nei contatti elettrici. Così non ci saranno più problemi legati agli arci elettrici o ai guasti prematuri.
Un altro problema è rappresentato dalla formazione di incrostazioni minerali causate dall’acqua. Queste incrostazioni creano “punti caldi” sul tubo, compromettendo la distribuzione del calore e, alla fine, distruggendo il quarzo stesso. Abbiamo trattato la superficie esterna della lampada per evitare questa formazione di incrostazioni. In questo modo, il calore viene distribuito uniformemente su tutto il wafer.
Alcune cose da tenere a mente
Niente è perfetto. Grazie all’impermeabilizzazione aggiunta, c’è uno strato extra di isolamento. Noterete che la risposta termica della lampada è leggermente più lenta rispetto a quella di un tubo normale. Non è un problema grave, ma potreste dover regolare le impostazioni PID per compensare questo ritardo, se avete bisogno di un controllo preciso della temperatura.
La cosa migliore? Queste lampade possono essere utilizzate come sostituti diretti delle lampade esistenti. Basta assicurarsi che l’alimentatore abbia la capacità di gestire la potenza richiesta dalla lampada impermeabile, così da evitare problemi durante i periodi di carico massimo.