
Mengurangkan Pelepasan Karbon di Kilang Semikonduktor: Mari Bincangkan Mengenai Proses Pengeringan
Sejujurnya, kilang-kilang semikonduktor merupakan pengguna tenaga yang sangat besar. Sebahagian besar tenaga yang digunakan digunakan untuk proses pengeringan wafer setelah ia diproses secara basah.
Saya lihat masih banyak kilang yang menggunakan kaedah pemanasan konvensional yang sudah ketinggalan zaman. Kaedah ini hanya memanaskan udara di sekeliling wafer, bukan wafer itu sendiri. Ini merupakan pembaziran tenaga. Jika anda ingin membina “kilang hijau”, menggunakan sistem pemanasan inframerah adalah salah satu cara termudah untuk mencapainya.
Mengapa Inframerah Berkesan
Kaedah konvensional menggunakan udara sebagai alat untuk memanaskan wafer. Prosesnya lambat, dan haba akan tersebar ke merata tempat. Sebaliknya, inframerah menggunakan radiasi. Foton-foton ini langsung mengenai permukaan wafer. Dengan cara ini, kita tidak perlu menggunakan banyak tenaga untuk memanaskan seluruh ruang di dalam bilik tersebut hanya untuk mengeringkan beberapa keping silikon. Kita biasanya menggunakan gelombang inframerah pendek dan sederhana kerana ia dapat menembusi lapisan cecair pada permukaan wafer dengan lebih cepat.
Pengeringan yang lebih cepat bermakna mesin tidak perlu beroperasi pada kuasa maksimum untuk waktu yang lama. Itu sahaja.
Penyediaan Sistem Inframerah dalam Dunia Nyata
Apabila kita ingin meningkatkan sistem pemanasan menggunakan inframerah, perkara yang paling penting adalah kepadatan tenaga yang digunakan. Lampu kuarsa berkuasa tinggi sangat sesuai kerana ia boleh dihidupkan dengan cepat. Anda tidak perlu membiarkan sistem beroperasi pada suhu tinggi sambil menunggu batch seterusnya. Anda hanya perlu mengaktifkan sistem pemanasan sebaik sahaja wafer dimasukkan, dan matikan kuasanya sebaik sahaja wafer keluar.
Namun, lampu berkuasa tinggi ini akan menjadi sangat panas. Jika kipas penyejuk atau sistem penyejukan tidak mencukupi, lampu tersebut akan rosak. Anda perlu mencari keseimbangan antara kuasa yang diperlukan dan kemampuan sistem penyejukan untuk mengatasinya.
Kesan Terhadap Bil Tenaga
Jika anda pernah melakukan audit tenaga, anda pasti tahu bahawa “tenaga yang digunakan ketika mesin tidak beroperasi” merupakan penyebab utama pembaziran wang di kilang-kilang semikonduktor. Sistem inframerah dapat menghilangkan masa pemanasan yang panjang dan mahal yang dialami oleh kilang-kilang menggunakan kaedah konvensional. Dengan mengurangkan masa pengeringan dari minit kepada saat, penggunaan tenaga per wafer akan menurun dengan drastis.
Ini merupakan cara terpantas untuk mencapai sasaran karbon neutral tanpa perlu memperlahankan proses pengeluaran.