Dalam proses pembakaran bahan photoresist ini, tahap kejayaan dan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses tersebut bergantung sepenuhnya pada cara pemanasan dilakukan. Sebarang perubahan suhu yang sedikit, atau kawasan yang terlalu panas pada permukaan wafer, akan menyebabkan variasi ketebalan garisan, adanya kotoran, atau sisa pelarut yang tertinggal. Apa yang diperlukan ialah pemanasan yang berlaku dengan cepat, secara tepat, dan stabil—tanpa menambah partikel atau menyebabkan gangguan dalam proses tersebut.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami membina lampu pemanasan inframerah untuk semikonduktor menggunakan gelombang pendek NIR, kerana ia mampu memindahkan tenaga secara langsung ke bahan photoresist dan substrat, tanpa mengganggu proses tersebut. Sistem ini dapat mengekalkan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C, dan ketepatan yang tinggi sehingga memastikan kualiti produksi tetap terjaga.
Keluaran tenaga lampu ini tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan kurang dari 5%. Ini bermakna anda tidak perlu sentiasa menyesuaikan tetapan suhu antara setiap wafer. Selain itu, lampu ini sesuai digunakan dalam bilik bersih dari kelas 1 hingga kelas 100, tanpa menghasilkan sebarang partikel semasa beroperasi.
Mengapa ia berfungsi dengan baik dalam proses litografi
Lampu ini memberikan pemanasan yang cepat dan stabil, yang sangat penting untuk proses pembakaran jenis “soft bake” dan “hard bake”. Profil suhunya sesuai dengan sifat kimia bahan photoresist dan struktur substrat. Tindak balasnya sangat cepat, jadi masa yang diperlukan untuk proses pembakaran dapat dikurangkan tanpa menjejaskan kualiti hasilnya. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana haba hanya dihasilkan apabila diperlukan sahaja, dan ia kekal dalam zon proses yang ditetapkan. Dengan ini, keperluan untuk mengganti komponen menjadi kurang, dan masa henti yang tidak dirancang juga berkurangan.
Butiran praktikal yang perlu diperhatikan
Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian agar sesuai dengan geometri bilik khas serta antaramuka kawalan suhu alat tersebut. Anda akan mendapat pelan pemasangan yang jelas, tetapi pastikan toleransi penyelarasan dan sistem penyejukan berfungsi dengan baik sebelum melaksanakan pemasangan. Lampu ini akan berfungsi dengan baik jika laluan pantulan cahaya tetap bersih, dan bekalan kuasa berada dalam keadaan stabil. Dalam persekitaran yang penuh dengan partikel atau voltan yang tidak stabil, adalah penting untuk merancang penyelenggaraan rutin agar proses berjalan lancar.