Na área de litografia, o processo de aquecimento não é apenas um meio de aquecer o material, mas sim parte essencial do processo em si. Uma variação de 2°C durante o aquecimento pode alterar a temperatura de transição vítrea do fotorevestimento. Além disso, a irregularidade no aquecimento pode causar Problemas como desvios nas bordas e nas linhas finas do padrão formado pelo fotorevestimento. É necessário um controle de temperatura confiável, algo em que se possa contar, e não algo que dependa de sorte.
O que realmente importa, tecnicamente
Utilizamos um sensor infravermelho de alta precisão para manter a uniformidade térmica da superfície do wafers dentro de ±0,1°C. A repetibilidade do processo fica dentro de ±0,05°C entre diferentes lotes. O sensor é compatível com ambientes limpos de classe 1–100 e foi projetado para não gerar partículas indesejadas. O emissor de quartzo/hálio garante uma saída de luz infravermelha estável e repetível, sem pontos quentes. O sistema permite controlar as temperaturas de aquecimento do fotorevestimento entre 90°C e 250°C, com precisão. Além disso, o sistema foi projetado para funcionar 24/7, sem interrupções indesejadas.
Por que funciona na fábrica
Na prática, o aquecimento suave faz com que o fotorevestimento seja tratado da mesma maneira, a cada ciclo de produção. O aquecimento completo fixa o perfil do fotorevestimento, sem exceder os limites desejados. Isso melhora a qualidade do resultado final, já que a história térmica é consistente. Assim, são necessários menos lotes de teste, há menos desperdícios e o tempo de ciclo diminui. Além disso, o consumo de energia também diminui, pois o processo é ajustado de acordo com as características químicas do fotorevestimento, e não por tentativas aleatórias.
O que você realmente precisa saber
A instalação do sistema requer que a geometria da placa de aquecimento e a emissividade do material utilizado sejam adequadas. Fornecemos um kit de calibração e uma lista de verificação de 30 minutos para garantir que tudo esteja funcional corretamente. Haverá um pequeno aumento no tempo de configuração no início, mas, uma vez que tudo esteja alinhado, o processo pode começar normalmente. Para obter a melhor estabilidade, mantenha a janela do sensor livre de resíduos e verifique sempre sua limpeza durante a manutenção preventiva.