Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Quando se trabalha em um ambiente de classe 100, a última coisa que se quer é que o elemento de aquecimento comece a liberar partículas por toda a área de trabalho. Isso acontece mais do que as pessoas admitem. Os aquecedores comuns tendem a se desintegrar ou liberar gases durante os ciclos térmicos. Se isso acontecer, seus wafer e componentes ópticos de alta precisão serão destruídos.
Para resolver esse problema, usamos lâmpadas de quartzo sintético de alta pureza. Elas são projetadas especificamente para funcionar dentro de câmaras de vácuo, sem causar nenhum tipo de sujeira.
O segredo está no quartzo.
Usamos sílica fundida, livre de impurezas metálicas. Por quê? Porque, quando a lâmpada atinge sua temperatura máxima, não se quer que ela libere compostos orgânicos voláteis (COVs).
Algumas pessoas usam lâmpadas revestidas, mas elas acabam se desgastando com o tempo. Nosso quartzo transparente permanece estável. Ele não se desintegra e consegue suportar as variações bruscas de temperatura sem rachar. Simplesmente funciona bem.
Instalando as lâmpadas na câmara de vácuo
A instalação dessas lâmpadas exige atenção aos detalhes. Elas são projetadas para lidar com diferenças de pressão, assim você não precisa se preocupar com vazamentos.
Lembre-se: certifique-se de que as vedações ao redor das conexões estejam bem seladas. Como não há ar para levar o calor embora, toda a energia é transmitida por radiação. A energia vai diretamente para o material a ser processado. É eficiente, mas intenso.
Algumas coisas às quais prestar atenção
O quartzo de alta pureza é ótimo para emissão de energia infravermelha, mas é frágil. Um movimento inadequado durante a instalação pode causar rachaduras no tubo. Além disso, como essas lâmpadas geram muito calor, é preciso garantir que os sistemas de resfriamento funcionem corretamente. Caso contrário, as paredes da câmara de vácuo podem se deformar, o que é um grande problema para consertar.
Manutenção contínua
Projetamos essas lâmpadas para serem trocadas rapidamente, pois ninguém gosta de interrupções no funcionamento da sala limpa. Ao instalá-las, tenha cuidado com os conectores. Use a torques correta – não aperte demais, senão você causará rachaduras no quartzo.
E se notar que a potência da lâmpada diminuiu? Evite aumentar a tensão para compensar. Isso pode causar danos ao filamento da lâmpada. Basta trocar o tubo e recalibrar o controlador PID. Assim, você evitará muitos problemas a longo prazo.