Почему излучатели инфракрасного света превосходят горячий воздух в процессах полупроводниковой обработки
Если вы по-прежнему используете горячий воздух для обработки полупроводниковых пластин, вы теряете слишком много времени в ожидании.
Подумайте: воздух – плохой проводник тепла. Вы тратите огромное количество энергии на нагрев большого объема газа, прежде чем тепло сможет достичь самой пластины. Этот процесс очень медленный.
Излучатели инфракрасного света меняют ситуацию: они передают энергию напрямую на поверхность пластины, без использования посредника.
Секрет керамических заглушек
При таких высоких температурах место, где электрические провода соединяются с кварцевой трубкой, может стать источником проблем. Если не быть осторожным, тепловые потери могут повредить корпус устройства или даже сжечь провода. Это не лучший вариант.
Поэтому мы используем керамические заглушки. Они служат защитным слоем, обеспечивая необходимую изоляцию и защиту от тепловых эффектов. Благодаря этому тепло остается именно там, где нужно – на поверхности излучателя, а не рядом с разъемами.
Скорость и компактность
Разница в скорости просто поразительна. Системы с излучателями инфракрасного света достигают заданной температуры за считанные секунды. А с горячим воздухом потребуются минуты, чтобы добиться стабильной температуры. Для тех, кто работает с такими устройствами, это означает более быстрый старт процесса и более высокую производительность.
Кроме того, размер устройства сокращается. Не нужно использовать огромные вентиляторы и сложную систему трубопроводов. Наша технология позволяет размещать источник тепла именно там, где он нужен. Нет необходимости тратить энергию на нагрев всей камеры ради одной точки.
Недостатки (ведь ничто не идеально)
Я не буду утверждать, что излучатели инфракрасного света – это идеальное решение. Есть некоторые моменты, на которые следует обратить внимание.
Поскольку излучение очень интенсивное, отражатели должны быть идеально настроены. Если они не совпадают или изнашиваются, на поверхности пластины могут появиться холодные зоны.
Кроме того, из-за быстрого повышения температуры возникает значительная нагрузка на соединение кварца и керамики. Нельзя просто увеличивать температуру – необходимо контролировать ее рост. В противном случае может произойти тепловой шок или преждевременное износ устройства.