На 300-мм линии наличие влажной подложки является остановкой линии. Остаточная влага приводит к полосам, частицам и потерям выхода еще до того, как вы дойдете до литографии. Мы разработали модуль быстрого высушивания сразу после промывки, чтобы превратить передачу от промывки к сушке в контролируемый термический этап, а не в игру на удачу.
Что важно под капотом
Мы используем коротковолновое и средневолновое инфракрасное излучение в кварцево-галогеновом исполнении, быстро передавая энергию и поддерживая узкий спектр, чтобы не рисковать экспозицией фоторезиста. Однородность температуры по всей подложке остается в пределах ±0.1°C, а повторяемость между сменами составляет ±0.2°C. Модуль лампы готов для чистых помещений класса 1–100, с нулевым уровнем генерации частиц, проверенным на уровне инструмента. Выход остается стабильным в пределах 1% на протяжении более 5,000 часов, что позволяет работать круглосуточно и планировать техобслуживание без неожиданностей.
Почему он прилипает к полу
Сразу после промывки подложка попадает в определенное тепловое поле, которое быстро и равномерно испаряет поверхностную воду. В результате вы получаете сухую, без остатков поверхность, готовую к мягкому или жесткому обжигу — без термического превышения. Вы сокращаете переход от влажного к сухому, уменьшаете количество дефектов переноса и ужесточаете контроль критических размеров, защищая тепловой бюджет фоторезиста. Импульсное управление и быстрое разогревание снижают нерабочую мощность без потери производительности.
Что вам нужно правильно настроить
Установка сводится к совпадению площади лампы с манипулятором в конце конвейера и выравниванию профиля луча с исключением края подложки. Настройте модуль на химию растворителя и температуру промывки, чтобы избежать дифференциального испарения. Проведите короткую проверочную партию, чтобы настроить время выдержки и интенсивность, и держите процесс в пределах теплового окна фоторезиста.