Hattın Dışında
Flip chip bağlantısı, termal profil kaymaya başladığında hassas bir dans gibidir. Bir sıcak nokta, bir bump’ı aşırı doldurmanıza neden olabilir. Bir soğuk bölge ise boşluklar oluşturur. Isıtıcı lamba, termal bütçenin tam ortasında yer alır ve düğüm boyutlarını küçültmeye devam ettikçe, işlem penceresi kapanır. Bu pencerenin küçülmesini engellemek için flip chip bağlantı ısıtıcı lambamızı geliştirdik.
Teknik Olarak Ne Önemli Kısa dalga kızılötesi (NIR) ışını, ısıyı doğrudan alt tabakaya aktaracak şekilde bir kuvars zarfından geçiriyoruz; hızlı ve temiz. Bağlantı bölgesinde, wafer seviyesindeki uniformite ±0.1°C’ye kadar tutulur ve işlemden işleme tekrarlanabilirlik sıkı kalır çünkü lamba çıkışı haritalanmış termokupl verilerine karşı kapalı döngü kontrolü ile yönetilir. Temiz oda uyumluluğu, eklediğimiz bir şey değildir: parça üretimini neredeyse sıfıra yakın tutan malzemeler ve yüzeyler seçiyoruz, bu nedenle Sınıf 1-100 ortamlarında rahatça çalışır. Sistem, tahmin edilebilir bakım aralıkları ile 24/7 çalışır ve çıkış kayması 5,000+ saat boyunca %5’in altında kalır.
Pratikte Neden Bu Şekilde Çalışır Flip chip bağlantısında, düşük dolgu veya düşük-k filmleri zorlamadan lehimi yeniden akıtmak için hızlı, kontrollü bir ısıtma gerekir. Bu lamba, belirlenen sıcaklığa hızlı bir şekilde ulaşır, ardından aşırıya kaçmadan bu sıcaklığı tutar, böylece termal döngü tekrarlanabilir ve Cp/Cpk yerinde kalır. Aynı lamba, yan adımlarda da çift görev yapar—foto direnç yumuşak fırınlama ve sert fırınlama—burada sıcaklık hassasiyeti, hat genişliği kontrolünü korur ve yüzey etkisini azaltır. Kazanç: daha az yeniden işleme partisi, stabil verim ve işlenen birim başına daha düşük enerji tüketimi.
Pratik Detaylar Lamba standart bağlayıcılara ve fırın modüllerine yerleştirilir, ancak termal arayüzün aracın ısı yolunu eşleştirmesi gerekir. Lamba haritasını sahne haritası ile hizalamak için kısa bir devreye alma süresi bekliyorsunuz. NIR hızlı yanıt verse de, reflektör hizalaması hassastır—bunu kurulum sırasında kontrol edilen bir değişken olarak ele alın ve önleyici bakım programına kilitleyin.