Üretim alanında, foto Direnç malzemesinde veya wafer yüzeyinde bulunan nem, maruz kaldıktan sonra parçaların boyutlarını bozar. Bu nemi ortadan kaldırmazsanız, parçalarda lekeler ve aşındırma kalıntıları oluşur; bu da tüm ürünlerin atılmasına yol açar. İşte bu yüzden wafer üzerindeki nemi gidermek için özel ısıtıcı lambalar kullanılır; bu lambalar, ıslak waferlerden kaynaklanan değişkenlikleri ortadan kaldırır.
Önemli olan şeyler
Bu lambayı, hızlı ve temiz bir ısı tepkisi sağlayacak şekilde tasarladık. Halojen elemanlar, yüksek yoğunlukta ve kısa dalga boyunda ışık üretir; böylece yüzey hızla ısınır. Kuvars kılıf ise sürekli kullanımda bile her şeyin saf ve stabil kalmasını sağlar. Böylece aktif bölgede sıcaklık ±0,1°C içinde sabit kalır; bu da Soft Bake ve Hard Bake işlemlerinin tekrarlanabilir olmasını sağlar. Sıcaklık kontrolü o kadar hassastır ki, foto Direnç malzemesinin termal dengesi korunur. Ayrıca çıkış gücü, aşırı ısınmayı önleyecek şekilde ayarlanmıştır.
Neden litografi işlemleri için uygundur?
Litografide, maruz kalmadan önce wafer’in kuru ve stabil olması gerekir; ardından da tutarlı bir pişirme işlemi yapılmalıdır. Bu lamba, yüzeyi hızla kurutur ve ardından Soft Bake ve Hard Bake işlemleri için belirlenen sıcaklığı korur. Bu tür bir tutarlılık, yeniden işlemlerin azalmasını sağlar, Class 1–100 temiz odalarda partikül sayısını kontrol altında tutar ve aşındırma işlemi sırasında öngörülebilir sonuçlar elde edilmesini sağlar. Hızlı sıcaklık ayarı sayesinde enerji tüketimi de mantıklı seviyede kalır; böylece gereksiz ısı üretimi ve soğutma yükü azalır.
Pratik detaylar
Kurulum oldukça basittir; ancak yine de işlem sürecine uygun şekilde hizalanma ve odak mesafesinin ayarlanması gerekmektedir. Çıkış gücü mesafe ile değiştiğinden, bir kez kalibrasyon yapıp cihazı sabitlemek gerekir. Bakım veya lamba değişimi sonrasında kısa bir ısınma süresi gereklidir; bu nedenle üretim işlemlerini bu süreye göre planlamak gerekir. Doğru ayarlar yapıldığında, lamba günler boyunca istikrarlı ve tekrarlanabilir bir nem giderme ve pişirme performansı sunar.