Очищення вуглецевого сліду у напівпровідникових камерах
Більшість камер у підприємствах з виробництва напівпровідників працюють за старим принципом: вони нагрівають всю камеру за допомогою конвективних чи резистивних нагрівачів. Це все одно, що нагрівати цілий будинок лише для того, щоб нагріти одну порцію піци. Це марна трата енергії та шкода для навколишнього середовища.
Ми знайшли кращий спосіб. За допомогою нагрівачів короткохвильового інфрачервоного випромінювання ми можемо спрямувати тепло безпосередньо на об’єкт обробки. Не потрібно більше нагрівати повітря чи стіни – достатньо нагріти саме ту частину, яка цього потребує.
Припиніть „нагрівання всієї камери“
Якщо ми справді хочемо досягти цілей щодо зниження викидів вуглецю, нам потрібно припинити такий підхід. Наші інфрачервоні елементи налаштовані на певні довжини хвиль, які ефективно поглинаються матеріалом. Оскільки ми можемо контролювати потужність та напругу, тепло потрапляє безпосередньо на поверхню матеріалу та залишається там. Воно не проникає в стіни камери. Крім того, оскільки камера не перетворюється на піч, системи опалення та охолодження не мусать працювати так intensively, щоб підтримувати стабільну температуру.
Деталі конструкції
Ми виготовляємо ці пристрої з високочистого кварцу та спеціальними покриттями, щоб енергія могла проникати в матеріал, а не відбиватися від поверхні. Найкраще те, що більшість з цих пристроїв можна використовувати як заміну для існуючих пристроїв. Ви можете замінити старі резистивні нагрівачі, не переробляючи всю систему. Ми також використовуємо контактори високої температури, щоб уникнути пошкоджень клем. Але будьте обережні під час роботи з кварцом – якщо на склі залишаться відбитки пальців чи олія, це може призвести до проблем з пристроєм. Тримайте все чистим.
Є певні недоліки
Хороша новина полягає у тому, що інфрачервоне випромінювання працює дуже швидко. Це означає, що ви можете вимкнути систему, коли вона не потрібна, щоб заощадити електроенергію. Але є й недоліки: інфрачервоне випромінювання потребує чистої лінії видимості. Якщо нагрівач не може „бачити“ об’єкт, він не може його нагріти. Якщо у вашій камері складна конструкція чи незвичайна геометрія, вам, ймовірно, доведеться налаштувати кут нахилу ламп, щоб усунути „холодні зони“. Також переконайтеся, що ваш джерело живлення є надійним. Раптові зміни напруги можуть швидко пошкодити інфрачервоні елементи.