Trong quá trình xử lý, tấm wafer được lấy ra khỏi môi trường ngâm rửa, và thời gian bắt đầu tính từ đây. Bất kỳ hơi ẩm nào còn sót lại đều có thể gây ra các vấn đề như sự hình thành các mạch kết nối giữa các phần tử trên tấm wafer, hoặc làm giảm chất lượng sản phẩm. Do đó, cần có bước xử lý giúp loại bỏ hơi ẩm nhanh chóng – mà không làm ảnh hưởng đến hiệu suất hoạt động của thiết bị, cũng như không tạo ra các hạt bụi.
Những yếu tố quan trọng trong việc loại bỏ hơi ẩm
Chúng tôi sử dụng nguồn ánh sáng hồng ngoại tần số cao được đặt trong vỏ bằng thạch anh. Cấu trúc phản xạ ánh sáng giúp truyền nhiệt vào lớp phim, chứ không phải vào bề mặt tấm wafer. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trong khu vực được chiếu sáng, với độ lệch khoảng ±0,1°C. Nhờ đó, nhiệt độ của lớp phim luôn nằm trong phạm vi cho phép trong suốt quá trình xử lý. Khả năng tương thích với môi trường sạch cũng rất quan trọng; thiết bị này hoạt động tốt trong môi trường lớp sạch từ 1–100, nhờ vào cấu trúc kín khít và khả năng kiểm soát hạt bụi. Độ ổn định của thiết bị dao động trong khoảng 1% sau hàng nghìn chu kỳ hoạt động, và hệ thống có khả năng phản ứng nhanh trong vài miligiây để duy trì độ chính xác của các kích thước quan trọng.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình gia công bằng kỹ thuật lithography
Trong quy trình lithography, nguồn ánh sáng giúp loại bỏ hơi ẩm trên bề mặt tấm wafer ngay trước khi phủ lớp phim. Điều này giúp tránh được các vấn đề liên quan đến hơi ẩm và các vấn đề khác. Trong quá trình nung, nguồn ánh sáng giúp duy trì nhiệt độ ổn định tại một vị trí nhất định, giúp tránh sự thay đổi nhiệt độ giữa các vùng khác nhau. Sự ổn định này giúp rút ngắn thời gian kiểm tra, giảm thiểu việc phải sửa chữa, và tiết kiệm năng lượng vì nguồn ánh sáng chỉ làm nóng khu vực cần xử lý. Độ tin cậy của thiết bị được thể hiện qua thời gian hoạt động lâu dài: thiết bị có thể hoạt động hơn 5.000 giờ mà độ ổn định của sản phẩm vẫn ở mức dưới 5%, và khoảng thời gian bảo trì cũng được kéo dài mà không gây ra rủi ro nào.
Những điều cần lưu ý
Nguyên lý hoạt động của thiết bị này tuân theo các tiêu chuẩn SEMI thông thường. Tuy nhiên, việc tích hợp thiết bị vào hệ thống vẫn cần chú ý đến các yếu tố liên quan đến nhiệt độ và đường dẫn khí thải. Vỏ bằng thạch anh không chịu được tác động cơ học, vì vậy việc lắp đặt thiết bị cần tuân theo các quy định về mô-men xoắn và độ căn chỉnh. Ngoài ra, cần sử dụng các dây dẫn điện và tín hiệu phù hợp với môi trường sạch, và kiểm tra kỹ lưỡng các loại khí sử dụng trong quy trình xử lý để đảm bảo chúng phù hợp với thông số kỹ thuật của thiết bị.