保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净室中工作时，最不希望发生的情况就是加热元件开始释放颗粒物，从而污染设备。这种情况其实比人们想象的要常见。普通的加热元件在受热过程中容易出现碎裂或释放气体的情况，而一旦发生这种情况，那么你的晶圆或高精度光学元件就毁了。
为了解决这个问题，我们使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯是专门为在真空环境中使用而设计的，不会产生任何污染物。
秘诀就在于石英本身。我们使用的石英经过了处理，去除了其中的金属杂质。因为当灯泡达到最高温度时，就不希望它释放出挥发性有机化合物。有些人会使用涂层灯泡，但那些灯泡会随着时间的推移而出现磨损。而我们的透明石英则非常稳定，不会碎裂，也能承受快速加热和冷却带来的冲击。它 simply works.
将灯泡安装在真空装置中
将这类灯泡安装到真空装置中时，需要注意细节。我们设计的灯泡能够承受压力差，因此无需担心泄漏问题。另外，要确保连接处的密封性良好。因为没有空气可以带走热量，所以热量会直接作用于工件上。虽然这种方式效率很高，但热量也很强。
需要注意的几点
高纯度石英虽然适合用于红外能量传输，但它很脆弱。如果在安装过程中操作不当，就有可能导致石英管破裂。此外，由于这些灯泡会产生大量局部热量，因此必须确保冷却系统正常工作。否则，真空室的内壁可能会变形，那可就麻烦了。
保持设备正常运行
我们设计这些灯泡是为了方便更换，因为没人希望洁净室停止运转。在安装时，要注意连接器的使用方式——不要过度拧紧，否则会导致石英管出现裂纹。如果发现灯泡的功率下降，也不要试图通过增加电压来弥补，那样只会加速灯丝的损坏。只需更换灯泡并重新校准PID控制器即可。这样就能避免很多麻烦。