عند تجفيف رقاقات أجهزة الاستشعار من نوع MEMS بعد عملية التنظيف الكيميائي، فإنك تسير على خط رفيع للغاية. يلزم استخدام حرارة عالية جدًا لإتمام المهمة، لكن ذلك يتم بالقرب من مواد قابلة للاشتعال. أي خطأ قد يؤدي إلى مشاكل كبيرة.
لذلك، نستخدم مصابيح الأشعة تحت الحمراء ذات الأطوال الموجية القصيرة. فهي تُسخّن الرقاقات بسرعة وبقوة، مما يجعل السوائل تتبخر قبل أن يحدث تسخين مفرط في باقي أجزاء الرقاقة.
التعامل مع المخاطر المخاوف الكبيرة في عملية التنظيف الكيميائي هي الحرائق. لا نعتمد فقط على سلامة المعدات، بل نستخدم أيضًا أغلفة واقية لحماية الرقاقات من الأبخرة القابلة للاشتعال. نضع مصابيح الأشعة تحت الحمراء داخل أنابيب من الكوارتز أو الياقوت، وهذا يعتبر غلافًا واقيًا يحمي الرقاقات من الأبخرة القابلة للاشتعال. كما نستخدم مواد لاصقة قوية مقاومة للمواد الكيميائية لإغلاق أي فتحات قد تسمح بدخول الغازات.
الحرارة وتدفق الهواء تم تصميم هذه المصابيح لتعمل في درجات حرارة محددة بدقة. الأشعة تحت الحمراء ذات الأطوال الموجية القصيرة تساعد في تحويل السوائل إلى بخار في لحظات. لكن يجب أن يكون هناك نظام تهوية فعال، وإلا فإن الغازات الناتجة عن التبخر ستظل محيطة بالمصباح، وهو أمر غير مقبول.
الحفاظ على كفاءة الجهاز لا أحد يريد أن يضيع وقته في إصلاح غرفة التجفيف بسبب تلف أحد المصابيح. لذلك، صممنا هذه الأجهزة بحيث يمكن استبدال المصابيح التالفة بسرعة وبسهولة. كما نستخدم الكوارتز المقوى، الذي يتحمل الصدمات الحرارية دون أن يتشقق. تأكد من أن مصدر الطاقة الخاص بالجهاز مفلتر، لأن ارتفاع مفاجئ في الجهد قد يدمر الفيلامنت، وهو أمر غير مرغوب فيه.