Když sušíte desky senzorů typu MEMS po chemickém čištění, jednáte na opravdu tenké hranici. Potřebujete intenzivní teplo k dokončení úkolu, ale děláte to hned vedle hořlavých rozpouštědel. Jeden špatný krok a máte vážný problém.
Proto používáme lampy s krátkovlnným infračerveným zářením. Ty působí na desky rychlým, silným proudem tepla, čímž okamžitě odpaří kapaliny, než má zbytek substrátu šanci se přehřát.
Zvládání nebezpečí
Hlavní obava při chemickém čištění je samozřejmě požár. Nedůvěřujeme jen tomu, že zařízení bude „bezpečné“ – vytváříme také fyzické bariéry.
Lampy s infračerveným zářením umístíme do uzavřených quartzových nebo safírových trubic. Můžete to považovat za ochrannou skořepinu, která udržuje ty hořlavé páry daleko od horkého wolframového vlákna. Dokonce i kabely utěsníme pomocí odolných, chemicky odolných pryskyřic. Jde o to uzavřít každou mez, skrz kterou by mohly proniknout plyny.
Teplo a proud vzduchu
Tyto vyhřívače jsou navrženy tak, aby dosahovaly velmi specifické teploty. Krátkovlnné infračervené záření dokáže okamžitě přeměnit kapalné zbytky na páru.
Je to opravdu silné řešení. Ale zde je problém: potřebujete dobrý systém odvodění tepla. Pokud je proud vzduchu pomalý, ty odpařené chemikálie zůstanou kolem pouzdra vyhřívače. To rozhodně nemůžete dopustit.
Udržování fungování zařízení
Nikdo nechce trávit odpoledne demontováním sušicí komory jen proto, že praskla žárovka. Tyto jednotky jsou navrženy jako modulární, s standardními konektory – takže výměna vyhořelé lampy je rychlá a jednoduchá.
Používáme také posílený quartz. Ten dokáže odolat „termickému šoku“ při rychlém ohřevu a chlazení, aniž by praskl. Ujistěte se však, že vaše napájecí síť je filtrována. Náhlý nárůst napětí je nejrychlejší způsob, jak poškodit vlákno – a to je problém, který nikdo nechce mít.