http://smart-ir-heater.com/cs/tags/litografie/ Recent content in Litografie on Smart Infrared Heating Systems Hugo cs Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800 http://smart-ir-heater.com/cs/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800 http://smart-ir-heater.com/cs/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Lampa do pece pro litografii polovodičů"></p> <p>V prostředí výroby může odchylka teploty o 0,5 °C během procesu zpracování fotoresistu způsobit změnu šířky pruhů o několik nanometrů – a právě proto se velké množství výrobků musí znehodnotit. Naši lampy určené k použití v litografických pecích jsme navrhli s ohledem na tuto realitu – využívají krátkovlnné infračervené záření k rychlému a efektivnímu přenosu tepla, čímž zachovávají stabilitu kritických teplotních podmínek.</p> <p><strong>Co je z technického <a href="https://henruite.com">hlediska</a> důležité</strong><br> Lampa pracuje v oblasti blízkého infračerveného spektra, takže fotoresist efektivně pohlcuje teplo. Doba potřebná k dosažení požadované teploty se snižuje, ale substrát zůstává termicky stabilní. Na úrovni celé desky je rovnost teploty udržována v rozmezí ±0,1 °C. Opakovatelnost procesu je zajištěna pomocí pyrometrie umístěné přímo v místě procesu. Kompatibilita s čistorami není opomíjená – materiály odpovídající normám třídy 1–100, absence uvolňovaných plynů a <a href="https://o-yate.net">konstrukce</a> chránící před částicemi zajistí potřebnou úroveň čistoty. Systém funguje 24/7 s předvídatelnými dobami údržby, takže neplánované přerušení provozu nemá negativní dopady na výrobu.</p>