Sensor on Smart Infrared Heating Systems

Senzor teploty pro nástroj na čipy

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

Zastavte „dešťové kapky skla“: Jak udržet vosky čisté, když selžou lampy

V továrnách na výrobu polovodičů je selhání lampy více než jen otrava – je to noční můra. Když infračervená trubice praskne pod velkým zatížením, nemusíte se potýkat pouze s přerušením provozu – musíte také řešit úlomky křemíku a halogenový plyn, které se rozprsknou po povrchu vašich vosků.

Naše infračervené lampy jsme navrhli právě proto, aby se to nestalo.

Udržení nepořádku uvnitř
Začínáme s vysoce čistým syntetickým křemíkem. Je odolný, což mu pomáhá překonat nárazy spojené s rychlým ohřevem a chlazením. Ale nezastavili jsme se u toho.

Ohřívač na sušení desek senzorů MEMS

Sun, 19 Jul 2026 07:51:29 +0800

Když sušíte desky senzorů typu MEMS po chemickém čištění, jednáte na opravdu tenké hranici. Potřebujete intenzivní teplo k dokončení úkolu, ale děláte to hned vedle hořlavých rozpouštědel. Jeden špatný krok a máte vážný problém.

Proto používáme lampy s krátkovlnným infračerveným zářením. Ty působí na desky rychlým, silným proudem tepla, čímž okamžitě odpaří kapaliny, než má zbytek substrátu šanci se přehřát.

Zvládání nebezpečí

Hlavní obava při chemickém čištění je samozřejmě požár. Nedůvěřujeme jen tomu, že zařízení bude „bezpečné“ – vytváříme také fyzické bariéry.

Chytré obaly senzorů pro infračervené záření

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

Správné získávání termálních dat ve chytré továrně

Pokud plánujete továrnu typu Industry 4.0, pravděpodobně jste si uvědomili, že starý způsob – prosté zvyšování teploty – už nefunguje. Potřebujete systém, který vám skutečně řekne, co se děje.

Používáme infračervené systémy vybavené chytrými senzory, které převádějí surové teplo na použitelná data. Nejde jen o to zahřát díl – jde o možnost vidět celou termální mapu vaší výrobní linky během jejího provozu.

Proč volíme infračervené technologie

V čistých prostorách nebo v zařízeních na výrobu polovodičů nemůžete jednoduše sondami něco prozkoumávat. Tím byste poškodili díl a měli byste opravdu velký problém.

Výrobní ohřívač senzoru vodíku

Thu, 16 Jul 2026 01:13:09 +0800

Přestaňte plýtvat teplem ve vaší továrně na výrobu senzorů vodíku

Při výrobě senzorů vodíku musí být teplotní profil na ploše čipu přesně stanovený. Není prostor na odhady. Abychom toho dosáhli, používáme specializované ohřívací lampy a reflektory pokryté zlatem.

Cíl je docela jednoduchý: chceme, aby každý watt energie dopadl přímo na substrát, a ne zmizel ve vzduchu.

Proč zlato?

Většina lidí začíná s hliníkovými reflektory, ale problém je v tom, že ty pohlcují a rozptylují příliš mnoho energie.
Přešli jsme na zlato vysoké čistoty – dokonale odráží infračervené světlo. Místo toho, aby teplo pohlcovalo pouzdro ohřívače, zlato ho posílá zpět k čipu. Výsledkem je přesnější bod soustředění tepla a konstantní teplota po celé ploše. Prostě to funguje lépe.

Přesný IR senzor pro čipy

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

V procesu litografie není „výžehlování“ jen způsobem na ohřátí materiálu – jedná se o samotný proces. Pokles teploty o 2 °C během měkkého výžehlování může změnit teplotu tání fotorezisty, zatímco nerovnoměrnosti při tvrdém výžehlování se projeví v odchylkách velikosti čar a okrajů. Potřebujete tedy spolehlivou kontrolu teploty, ne něco, na co můžete jen doufat.

Co je technicky důležité
Na waferu používáme přesný infračervený senzor, který udržuje teplotní rovnoměrnost na úrovni ±0,1 °C po celé ploše waferu. Opakovatelnost výsledků je pak v rozmezí ±0,05 °C mezi jednotlivými sériemi výroby. Senzor je vhodný pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 a je navržen tak, aby nevytvářel žádné částice. Emittér z křemíku/halogenu zajišťuje stabilní a opakovatelný výstup v oblasti infračerveného světla – bez „horkých míst“.