Trouba on Smart Infrared Heating Systems

Výhřevný prvek sušičky waferů

Wed, 08 Jul 2026 04:54:54 +0800

Úvod

Tento infračervený ohřívač jsme vyvinuli z jednoho jednoduchého důvodu: abychom vám poskytli efektivní náhradu za originální prvky používané v sušičkách polovodičových destiček.
Pokud už vás unavuje platit vysoké částky za zahraniční vybavení a chcete řešení, které bude fungovat na stejné úrovni, pak je to právě tento produkt. Je navržen tak, aby poskytl potřebnou teplotu pro rychlé a přesné sušení – a to bez vysoké ceny.

Technické parametry

Parametry tohoto ohřívače nejsou náhodné. Rozhodli jsme se pro konstrukci s vysokým napětím – obvykle 400 V – protože to umožňuje vysokou účinnost ohřevu v menším prostoru. Díky tomu získáte veškerou potřebnou tepelnou energii, ale v rozměrech, které se skutečně hodí při renovaci stávající sušičky.
Výkon a délka ohřívače jsou přizpůsobeny přesněmu tepelnému profilu procesu sušení destiček. To znamená, že komora dosáhne požadované teploty rychle a udrží se tam. A protože se jedná o přímou náhradu, ušetříte si starosti s přehodnocením celé konstrukce sušičky.

Lampa do pece pro litografii polovodičů

Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800

V prostředí výroby může odchylka teploty o 0,5 °C během procesu zpracování fotoresistu způsobit změnu šířky pruhů o několik nanometrů – a právě proto se velké množství výrobků musí znehodnotit. Naši lampy určené k použití v litografických pecích jsme navrhli s ohledem na tuto realitu – využívají krátkovlnné infračervené záření k rychlému a efektivnímu přenosu tepla, čímž zachovávají stabilitu kritických teplotních podmínek.

Co je z technického hlediska důležité
Lampa pracuje v oblasti blízkého infračerveného spektra, takže fotoresist efektivně pohlcuje teplo. Doba potřebná k dosažení požadované teploty se snižuje, ale substrát zůstává termicky stabilní. Na úrovni celé desky je rovnost teploty udržována v rozmezí ±0,1 °C. Opakovatelnost procesu je zajištěna pomocí pyrometrie umístěné přímo v místě procesu. Kompatibilita s čistorami není opomíjená – materiály odpovídající normám třídy 1–100, absence uvolňovaných plynů a konstrukce chránící před částicemi zajistí potřebnou úroveň čistoty. Systém funguje 24/7 s předvídatelnými dobami údržby, takže neplánované přerušení provozu nemá negativní dopady na výrobu.

Infračervená lampa SK15 pro pece na plátky

Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800

Out on the fab floor, víte, jak to chodí: posun o 0,3°C během pečení fotorezistu stačí k tomu, aby byla celá várka zmetkována. Infračervená lampa SK15 pro pece na plátky byla navržena tak, aby zabránila tomuto posunu již v jeho zárodku. Soustředí se přímo na tepelný rozpočet, takže profily měkkého i tvrdého pečení zůstávají stabilní a kritické rozměry jsou udržovány pod kontrolou.
Co je technicky podstatné
SK15 využívá krátkovlnné NIR záření, čímž zajišťuje rychlý objemový ohřev s nízkou tepelnou setrvačností. Po ploše plátku se uniformita drží na ±0,1°C a opakovatelnost je záblesk po záblesku. Emitor zůstává čistý – bez tvorby částic a bez vývěrů plynů – což umožňuje dodržovat limity čistoty čistých prostor třídy 1–100. Výkon zůstává stabilní přes 5 000+ hodin s poklesem menším než 5 % a rozměry lampy odpovídají standardním otvorům v peci s pevnou a opakovatelnou montáží.
Pece na plátky potřebují teplo, které přijde rychle, ustálí se rychle a nezanechá nežádoucí stopy. SK15 udržuje komoru na nastavené teplotě bez přestřelu, což zkracuje dobu nahřívání a stabilizace. Výsledkem je vyšší průchodnost, méně nákladných přepracování a méně zmetků.
Profily fotorezistu zůstávají konzistentní mezi dávkami i směnami, což pomáhá zajistit přesnější překrytí a jednotnost kritických rozměrů. Díky rychlejším rampám a stabilnímu držení teploty také klesá spotřeba energie, čímž se snižují provozní náklady na jeden plátek.
Zde je několik faktorů k zapamatování. SK15 je kompatibilní s většinou platforem pece na plátky, ale finální uniformita je stále ovlivněna geometrií pece, uspořádáním reflektorů a prouděním vzduchu. Doporučuje se krátký spouštěcí provoz pro doladění PID regulace a potvrzení shody profilu pečení s vrstvou rezistu. Příprava proto zabere o něco více času, ale následný provoz je stabilní s minimální potřebou údržby.