http://smart-ir-heater.com/cs/tags/vlhkost/ Recent content in Vlhkost on Smart Infrared Heating Systems Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/cs/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/cs/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Svítilna pro odstranění vlhkosti z waferů"></p> <p>V prostoru výroby může zadržená vlhkost – ať už v <a href="https://henruite.com">fotorezistu</a> nebo přímo na povrchu waferu – po expozici poškodit klíčové rozměry. Pokud tuto vlhkost neodstraníte, vzniknou nerovnosti, nečistoty a zbytky po leptání, což může zničit celé série produktů. Proto používáme žárovky na odstraňování vlhkosti z waferů – ty odstraňují variability spojené s mokrými wafery.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř zařízení</strong><br> Tuto žárovku jsme navrhli tak, aby poskytovala rychlou a přesnou tepelnou reakci. Halogenové prvky zajistí vysokou intenzitu světla s krátkými vlnovými délkami, takže se povrch rychle ohřeje. Křemenný obal zase zajišťuje čistotu a stabilitu, dokonce i při nepřetržitém provozu. Výsledkem je tepelná rovnoměrnost na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C v celé aktivní oblasti, což umožňuje opakované použití procesů Soft Bake a Hard Bake. Kontrola teploty je dostatečně přesná na to, aby byl chráněn tepelný stav fotorezistu. Výstupní intenzita je nastavena tak, aby došlo k rychlé dehydrataci bez nadměrného zahřátí.</p>