Die Albträume durch eine defekte Lampe in der Reinraumumgebung vermeiden
Falls Sie schon einmal erlebt haben, dass eine Infrarotlampe während des Betriebs in einer Wafernfabrik ausgefallen ist, wissen Sie, wie katastrophal das sein kann. Es geht nicht nur um die Unterbrechung der Beleuchtung – es entsteht außerdem großer Unordnung. Überall liegen Quarzsplitter und Halogengas. In einer Reinraumumgebung ist das ein echter Albtraum: Es kommt zu sekundärer Kontamination der Wafer, und außerdem entstehen hohe Kosten wegen der Stillstandszeiten. Wir bauen unsere Heizgeräte so, dass Sie mit solchen Problemen niemals konfrontiert werden müssen.
Die Unordnung unter Kontrolle halten
Wir verwenden hochreinen gefügten Quarz – doch die Wände der Geräte sind besonders dick. Dadurch kann die Lampe den Stress durch schnelle Temperaturschwankungen besser aushalten.
Aber hier ist das eigentliche Geheimnis: der Schutzring. Man kann ihn als Sicherheitsschirm betrachten. Falls die innere Lampe einmal zerbricht oder ausfällt, fängt der Schutzring alles auf. Die Schäden bleiben dort, und Ihre Wafer bleiben sauber. So einfach ist das.
Mit der Hitze umgehen, ohne dass die Lampe ausfällt
Jeder möchte kurze Aufwärmzeiten – das bedeutet, dass hohe Leistungswerte erforderlich sind. Doch wenn man den Quarz zu stark belastet, bricht er.
Wir haben herausgefunden, dass das Geheimnis in der präzisen Anpassung der Spannung liegt. Einige versuchen, mehr Hitze aus der Lampe herauszuholen, indem sie die Spannung erhöhen. Das sollte man jedoch nicht tun – dadurch wird die Lebensdauer der Lampe verkürzt und es kommt eher zu einem Defekt. Wir sorgen dafür, dass die Leistungsintensität und die Kühlkapazität des Gehäuses optimal zusammenarbeiten.
Die kleinen Dinge, die wichtig sind
Die meisten Lampen versagen nicht in der Mitte – sondern an den Enden. Warum? Meistens wegen lockerer Verbindungen. Lockerer Stecker führen zu Entladungen, was wiederum zu heißen Stellen führt. Um das zu vermeiden, verwenden wir standardisierte Stecker, die fest sitzen. Keine Lücken, keine Entladungen, keine vorzeitigen Defekte. Einfach eine feste Verbindung.
Ein kleiner Hinweis: Da wir zwischen der Wärmequelle und den Wafern einen Schutzring einbauen, wird etwas von der Infrarotstrahlung blockiert. Sie könnten einen leichten Unterschied feststellen. Wahrscheinlich müssen Sie nur die Aufenthaltszeit der Wafer in der Strahlung leicht anpassen oder die Leistung etwas erhöhen, damit die Produktivität weiterhin gewährleistet bleibt.