Im Produktionsumfeld sind die Anforderungen besonders hoch. Eine Abweichung von ±2°C bei der Behandlung des Photoresists kann dazu führen, dass kritische Abmessungen beeinträchtigt werden. Ein Anstieg der Partikelzahl während des Trocknungsprozesses kann den gesamten Produktionsprozess ruinieren. Wir haben Heizelemente aus hochreinem Quarz entwickelt, damit das thermische Verhalten vorhersagbar, konstant und reproduzierbar bleibt – gerade dort, wo die Toleranzen äußerst gering sind.
Was wirklich wichtig ist
Es handelt sich um gegossenen Quarz mit kontrolliertem OH-Gehalt. Dadurch bleibt die Austriebsmenge an Gasen in Vakuum- und Reinraumumgebungen gering. Die schnelle Reaktionszeit sowie die hohe Gleichmäßigkeit – ±0,1°C über die gesamte Aktivzone hinweg – verhindern Ungleichmäßigkeiten auf der Waferoberfläche, sowohl bei der weichen als auch bei der harten Behandlung. Das Heizelement erreicht schnell seine Zieltemperatur, wodurch die Zeit zwischen Stillstand und Produktionsprozess verkürzt wird – ohne dass es zu Überschüssen kommt. Die Infrarotstrahlung bleibt über Tausende von Stunden hinweg konstant, was dazu beiträgt, dass die Aushärtung des Photoresists konstant bleibt und somit der Energieverbrauch minimiert wird.
Warum es in der Produktion funktioniert
In der Lithografie sorgt das Quarzelement für stabile Temperaturen während der Vorbehandlung, Nachbehandlung und Aushärtung – dadurch bleiben die Waferbreiten innerhalb der vereinbarten Toleranzen. Bei der Trocknung der Wafer sorgt das Heizelement für eine saubere Erwärmung, ohne dass Partikel entstehen. Dadurch bleibt die Oberflächenkontamination unter den zulässigen Werten. Das Ergebnis sind weniger Nacharbeiten, weniger Ausschuss sowie konsistente Produktionszeiten. Der Energieverbrauch sinkt ebenfalls – das Heizelement erreicht schnell die Zieltemperatur, hält sie konstant und verschwendet keine Energie durch Überkompensation.
Praktische Hinweise
Diese Heizelemente funktionieren am besten, wenn sie der Geometrie des Behälters sowie der thermischen Masse entsprechend angepasst werden. Wenn die Montage nicht korrekt erfolgt, entstehen lokale Hitspotte. Die Spannung sowie der Steckertyp müssen zur Schnittstelle der Maschine passen. Zudem sollte ein mechanischer Verschluss verwendet werden, der für Reinraumbedingungen geeignet ist. In Umgebungen mit hoher Luftfeuchtigkeit muss auf die Isolierung der Anschlüsse geachtet werden – außerdem sollten regelmäßige Inspektionen durchgeführt werden. Mit richtiger Ausrichtung und Kalibrierung können die Heizelemente 24/7 mit konstanter Leistung betrieben werden, wobei die Wartungsintervalle vorhersehbar sind.