http://smart-ir-heater.com/de/tags/kwarc/ Recent content in Kwarc on Smart Infrared Heating Systems Hugo de Wed, 01 Jul 2026 06:06:37 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/high-purity-quartz-heating-element/ Wed, 01 Jul 2026 06:06:37 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/high-purity-quartz-heating-element/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Hochreiner Quarzheizelement"></p> <p>Im Produktionsumfeld sind die Anforderungen besonders hoch. Eine Abweichung von ±2°C bei der Behandlung des Photoresists kann dazu führen, dass kritische Abmessungen beeinträchtigt werden. Ein Anstieg der Partikelzahl während des Trocknungsprozesses kann den gesamten Produktionsprozess ruinieren. Wir haben Heizelemente aus hochreinem Quarz entwickelt, damit das thermische Verhalten vorhersagbar, konstant und reproduzierbar bleibt – gerade dort, wo die Toleranzen äußerst gering sind.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Es handelt sich um gegossenen Quarz mit kontrolliertem OH-Gehalt. Dadurch bleibt die Austriebsmenge an Gasen in Vakuum- und Reinraumumgebungen gering. Die schnelle Reaktionszeit sowie die hohe Gleichmäßigkeit – ±0,1°C über die gesamte Aktivzone hinweg – verhindern Ungleichmäßigkeiten auf der Waferoberfläche, sowohl bei der weichen als auch bei der harten Behandlung. Das Heizelement erreicht schnell seine Zieltemperatur, wodurch die Zeit zwischen Stillstand und Produktionsprozess verkürzt wird – ohne dass es zu Überschüssen kommt. Die Infrarotstrahlung bleibt über Tausende von Stunden hinweg konstant, was dazu beiträgt, dass die Aushärtung des Photoresists konstant bleibt und somit der Energieverbrauch minimiert wird.</p>