http://smart-ir-heater.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Smart Infrared Heating Systems Hugo de Sun, 19 Jul 2026 07:51:18 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 07:51:18 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafers"></p> <p>Wenn man MEMS-Sensorwafer nach <a href="https://o-yate.net">einer</a> chemischen Reinigung trocknet, befindet man sich auf einem ziemlich schmalen Grat. Man benötigt intensive Hitze, um die Arbeit zu erledigen – doch das geschieht direkt neben brennbaren Lösungsmitteln. Ein falscher Schritt kann zu ernsthaften Problemen führen.</p> <p>Deshalb verwenden wir Kurzwell-Infrarotlampen. Sie strahlen eine starke Hitze ab, die die Flüssigkeit sofort verdampft, bevor der Rest des Substrats überhaupt überhitzen kann.</p> <p><strong>Umgehen der Gefahren</strong> Die größte Sorge bei der chemischen Reinigung ist natürlich ein Brand. Wir verlassen uns nicht einfach darauf, dass die Ausrüstung „sicher“ ist – stattdessen bauen wir zusätzliche <a href="https://goldisgood.com">Schutzma</a>ßnahmen ein. Die Infrarotlampen werden in versiegelten Quarz- oder Saphirröhren untergebracht. Das dient als Schutzschale, die die brennbaren Dämpfe von den heißen Wolframfilamenten fernhält. Auch die Verkabelung wird mit widerstandsfähigen, chemikalienbeständigen <a href="https://henruite.com">Harzen</a> versiegelt. Es geht darum, alle möglichen Lücken zu schließen, durch die Gase eindringen könnten.</p>