Molybdän Träger für Infrarotlampe

Sat, 27 Jun 2026 01:04:53 +0800

In der 300-mm-Linie ist die Trocknung des Fotoresists der Punkt, an dem entweder das verfügbare Wärmebudget sinnvoll genutzt wird – oder es verschwendet wird. Eine schlechte Temperaturhomogenität zeigt sich schnell als Varianz der Linienbreite über die gesamte Waferfläche. Wenn außerdem Ausgasungen oder Partikelbildung den Prozess beeinträchtigen, muss alles neu durchgeführt werden. Man braucht also eine Wärmequelle, die die Temperatur bei jeder Belichtung konstant hält – ohne dass man mit den Anforderungen des Reinraums kämpfen muss.

Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Infrarotlampen mit Molybdänhalterungen – hochemittierende Molybdändrahten in einem Quarzgehäuse, das auf kurzwelliges Infrarot abgestimmt ist. Das Spektrum dieser Lampen entspricht der Absorptionseigenschaft des Fotoresists. Dadurch kann der Lösungsmittelabtrag schnell erfolgen, während die Oberfläche des Substrats stabil bleibt.
In der Trocknungszone bleibt die Temperaturhomogenität innerhalb von ±0,1 °C – die Wiederholbarkeit ist sogar besser, nämlich unter ±0,2 °C von Belichtung zu Belichtung. Die Molybdänhalterung sorgt dafür, dass die Geometrie der Lampe auch unter thermischer Belastung erhalten bleibt – es entstehen keine Hotspots oder kalten Stellen. Die Leistung der Lampe bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, mit einer Intensitätsvariation von weniger als 5 %. Der Lampenkörper ist für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1–100 geeignet und erzeugt im Betrieb keinerlei Partikel.

Molypden on Smart Infrared Heating Systems

Molybdän Träger für Infrarotlampe