http://smart-ir-heater.com/de/tags/pr%C3%A4zision/ Recent content in Präzision on Smart Infrared Heating Systems Hugo de Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Präziser IR Sensor für Wafern"></p> <p>In der Lithografie ist das Erhitzen des Wafers keine Art „Aufwärmvorgang“ – es handelt sich dabei um einen eigentlichen Prozessschritt. Eine Schwankung von 2°C während des weichen Erhitzungsprozesses führt dazu, dass sich der Schmelzpunkt des Fotolacks verändert. Bei dem harten Erhitzungsprozess treten Unregelmäßigkeiten auf, die sich in Form von Abweichungen an den Rändern sowie in der Dicke der Linien zeigen. Es ist daher notwendig, eine zuverlässige Temperaturkontrolle zu haben – nichts, worauf man einfach <a href="https://henruite.com">vertrauen</a> kann.</p>