Sensor on Smart Infrared Heating Systems

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

Stoppen Sie den „Glass-Rain“: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn Lampen versagen
In einer Halbleiterfabrik ist das Ausfallen einer Lampe mehr als nur ein Ärgernis – es ist ein Albtraum. Wenn eine Infrarotlampe unter hoher Belastung versagt, muss man nicht nur mit Stillstand kämpfen, sondern auch damit, dass Quarzscherben sowie Halogengas über die Oberflächen der Wafer spritzen.

Wir haben unsere Infrarotlampen speziell so konstruiert, dass so etwas nicht passiert.

Die Kontrolle des Chaos
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz. Dieser ist sehr widerstandsfähig und kann somit die starken Temperaturschwankungen beim Heizen und Abkühlen gut verkraften. Doch damit haben wir noch nicht aufgehört. Um einen „Explosionsfall“ zu verhindern, fügen wir eine bruchresistente Hülle oder eine spezielle Beschichtung hinzu. Das kann man als Sicherheitsnetz betrachten: Falls der Filament verbrennt und das Glas zerbricht, hält die Beschichtung die Scherben zusammen – dadurch fallen keine Glassplitter mehr auf die Siliziumwafer.

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafers

Sun, 19 Jul 2026 07:51:18 +0800

Wenn man MEMS-Sensorwafer nach einer chemischen Reinigung trocknet, befindet man sich auf einem ziemlich schmalen Grat. Man benötigt intensive Hitze, um die Arbeit zu erledigen – doch das geschieht direkt neben brennbaren Lösungsmitteln. Ein falscher Schritt kann zu ernsthaften Problemen führen.

Deshalb verwenden wir Kurzwell-Infrarotlampen. Sie strahlen eine starke Hitze ab, die die Flüssigkeit sofort verdampft, bevor der Rest des Substrats überhaupt überhitzen kann.

Umgehen der Gefahren Die größte Sorge bei der chemischen Reinigung ist natürlich ein Brand. Wir verlassen uns nicht einfach darauf, dass die Ausrüstung „sicher“ ist – stattdessen bauen wir zusätzliche Schutzmaßnahmen ein. Die Infrarotlampen werden in versiegelten Quarz- oder Saphirröhren untergebracht. Das dient als Schutzschale, die die brennbaren Dämpfe von den heißen Wolframfilamenten fernhält. Auch die Verkabelung wird mit widerstandsfähigen, chemikalienbeständigen Harzen versiegelt. Es geht darum, alle möglichen Lücken zu schließen, durch die Gase eindringen könnten.

Intelligente Sensorkonservierung Infrarot

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

Sichere genaue thermische Daten in der intelligenten Fertigung
Wenn Sie eine Industrie-4.0-Fertigung planen, haben Sie vermutlich erkannt, dass die alte Methode des einfachen Erhöhens der Hitzezufuhr nicht mehr ausreicht. Man braucht ein System, das tatsächlich anzeigt, was vor sich geht.

Wir verwenden Infrarotsysteme mit intelligenten Sensoren, um die rohe Wärme in nutzbare Daten umzuwandeln. Es geht dabei nicht nur darum, ein Bauteil zu erwärmen – vielmehr soll man die gesamte thermische Struktur der Produktionslinie in Echtzeit betrachten können.

Warum wir auf Infrarot setzen
In einer Saalreinraumumgebung oder bei der Herstellung von Halbleitern kann man nicht einfach mit Proben in die Komponenten hineinfassen. Dadurch würde das Bauteil kontaminiert – und das ist natürlich ein großes Problem.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoff Sensoren

Thu, 16 Jul 2026 01:13:05 +0800

Hören Sie auf, Energie im Herstellungsprozess von Wasserstoff-Sensoren zu verschwenden
Beim Herstellen von Wasserstoff-Sensoren muss das Temperaturprofil auf der Wafer-Oberfläche genau gesteuert werden – ohne Rückschlüsse oder Vermutungen. Dafür verwenden wir spezielle Heizlampen sowie reflektierende Elemente, die mit Gold überzogen sind.

Das Ziel ist ganz einfach: Jeder einzelne Watt an Energie soll auf dem Substrat ankommen – und nicht in der Luft verschwinden.

Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminium-Reflektoren – doch das Problem ist, dass diese viel zu viel Energie aufnehmen und ablenken. Wir haben stattdessen hochreines Gold verwendet, denn es ist hervorragend darin, Infrarotlicht zu reflektieren. Anstatt dass die Heizgehäuse die Wärme aufnehmen, leitet das Gold sie direkt zurück zur Wafer-Oberfläche. Dadurch entsteht ein präziserer Fokuspunkt sowie eine konstante Temperatur über die gesamte Oberfläche. Das funktioniert einfach besser.

Präziser IR Sensor für Wafern

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

In der Lithografie ist das Erhitzen des Wafers keine Art „Aufwärmvorgang“ – es handelt sich dabei um einen eigentlichen Prozessschritt. Eine Schwankung von 2°C während des weichen Erhitzungsprozesses führt dazu, dass sich der Schmelzpunkt des Fotolacks verändert. Bei dem harten Erhitzungsprozess treten Unregelmäßigkeiten auf, die sich in Form von Abweichungen an den Rändern sowie in der Dicke der Linien zeigen. Es ist daher notwendig, eine zuverlässige Temperaturkontrolle zu haben – nichts, worauf man einfach vertrauen kann.