http://smart-ir-heater.com/de/tags/sk15/ Recent content in SK15 on Smart Infrared Heating Systems Hugo de Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/de/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="SK15 Infrarotlampe für Wafer Ofen"></p> <p>Auf dem Fertigungsboden wissen Sie, wie es läuft: eine Drift von 0,3 °C während des Photoresist-Backens reicht aus, um eine gesamte Charge zu verwerfen. Die SK15-Infrarotlampe für Wafer-Öfen wurde entwickelt, um diese Drift dort zu stoppen, wo sie beginnt. Sie greift direkt den thermischen Aufwand an, sodass Softbake- und Hardbake-Profile stabil bleiben und kritische Abmessungen kontrolliert werden.</p> <p><strong>Technisch relevant</strong></p> <p>Die SK15 setzt auf kurzwellige NIR-Strahlung, wodurch eine schnelle, volumetrische Erwärmung mit geringer thermischer Trägheit erreicht wird. Über die Wafer-Ebene liegt die Uniformität bei ±0,1 °C, und die Reproduzierbarkeit ist schussweise gegeben. Der Emitter bleibt sauber – keine Partikelbildung, kein Ausgasen – somit werden die Anforderungen der Reinraumklasse 1–100 eingehalten. Die Leistung bleibt über 5.000+ Stunden stabil, mit einem Abfall von unter 5 %, und die Lampenabmessungen entsprechen den Standard-Ofenanschlüssen mit einer Befestigung, die sicher und reproduzierbar ist.</p>