Panel de calefacción infrarrojo cerámico

Wed, 10 Jun 2026 01:21:08 +0800

En el piso de fabricación, la uniformidad de temperatura no es una métrica que persigas; es la delgada línea entre producir obleas y desperdiciar material. Un cambio de 1°C en la oblea durante el horneado del fotoresistente puede desviar las líneas de ancho lo suficiente como para que el error se traslade hasta la prueba final. Construimos nuestro panel de calefacción infrarroja cerámica para eliminar ese riesgo.

Lo que importa, técnicamente
El panel utiliza emisores infrarrojos cerámicos con respuesta de onda corta, por lo que obtienes un calentamiento rápido y acoplado directamente sin mucho retraso térmico. A través de la superficie activa, mantenemos la uniformidad a nivel de oblea en ±0.1°C, y la repetibilidad del punto de ajuste se mantiene dentro de la misma ventana. La placa frontal está diseñada para uso en salas limpias de Clase 1–100, con materiales de baja emisión de gases y una construcción sellada que mantiene la generación de partículas en cero durante el estado estacionario. El control es en bucle cerrado, y la compensación multizona aplanará los gradientes térmicos que la geometría de la herramienta tiende a crear.

Panel on Smart Infrared Heating Systems

Panel de calefacción infrarrojo cerámico