در این فرآیند، برنامهریز کار نخواهد کرد و منتظر خواهد ماند تا هیتر به سرعت دمای مورد نیاز را حاصل کند. محفظه CVD نیاز به پایداری دما دارد؛ حتی اگر دما فقط یک درجه از مقدار مورد نظر فاصله بگیرد، ضخامت لایه ناشی شده، تنشهای موجود و بازدهی فرآیند تحت تأثیر قرار خواهد گرفت.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما این هیتر CVD را طوری طراحی کردهایم که هر بار به یک شکل عمل کند. لامپهای کوارتز-هالوژن به سرعت پاسخ میدهند؛ در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود. سیستم کنترلی، دما را در محدوده مشخص نگه میدارد؛ بنابراین از اتلاف انرژی جلوگیری میشود.
ویژگیهای مهم برای استفاده در کارخانههای ۷×۲۴ در کارخانههای ۷×۲۴، قابلیت اطمینان فرآیند، به معنای عدم وجود توقفات ناخواسته است. این هیتر برای کار مداوم و بدون توقفات طراحی شده است؛ دادههای موجود نشان میدهد که این هیتر میتواند هزاران ساعت به طور مداوم کار کند و دمای آن نیز پایدار باقی میماند.
این امر منجر به کاهش تعداد محصولات ناموفق، توزیع بهتر محصولات در میان محصولات مختلف، و کاهش مقدار مواد بیفایده میشود. همچنین، استفاده از انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا پاسخ سریع هیتر، از اتلاف انرژی جلوگیری میکند.
جزئیات عملی که برای شما اهمیت دارد نصب هیتر باید متناسب با مقدار گرمای موجود و فاصلههای لازم باشد. هیتر به خوبی در محفظه جاسازی میشود، اما ساختار محفظه و ویفر باید مطابق با مشخصات مورد نظر باشد؛ در غیر این صورت، نمیتوان یکنواختی دما را حفظ کرد.
پس از نصب، نیاز به تنظیماتی برای سیستم PID وجود دارد تا دما مطابق با شرایط محفظه و گازهای موجود باشد. پس از انجام این تنظیمات، سیستم به خوبی کار خواهد کرد؛ نیازی به تلاشهای اضافی نیست.