در کارخانههای تولید، میدانیم که پیامدهای نادرست در فرآیندهای حرارتی چقدر جدی هستند. تغییرات دمایی در حد ±۲ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود. وجود ذرات در حین خشک کردن نیز میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. ما عناصر گرمایشی کوارتزی با خلوص بالا را ساختیم تا رفتار حرارتی آنها قابل پیشبینی، پاک و تکرارپذیر باشد؛ درست در شرایطی که حدود تغییرات دمایی بسیار کم است.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
این عناصر از کوارتز تشکیل شدهاند و میزان OH در آنها کنترل شده است؛ بنابراین میزان گازهای تولید شده در محیطهای خلأ و اتاقهای پاک، بسیار کم است. پاسخ سریع و یکنواختی این عناصر، باعث کاهش تفاوتهای دمایی در سطح ویفر میشود؛ همچنین، پروفایل دمایی این عناصر به سرعت تثبیت میشود، بنابراین زمان لازم برای شروع فرآیند کاهش مییابد. خروجی مادون قرمز این عناصر نیز در طول هزاران ساعت کار، ثابت باقی میماند؛ این امر باعث پایداری فرآیند لحیم کردن فوتورزیست و حفظ بودجه حرارتی میشود.
چرا این عناصر در فرآیندهای تولید کارایی دارند؟
در فرآیندهای لیتوگرافی، این عناصر دمای ثابتی را برای مراحل پیشحرارت، پسحرارت و لحیم کردن فراهم میکنند؛ بنابراین کنترل عرض خطوط روی ویفر در محدوده مشخص شده انجام میشود. برای خشک کردن ویفر، این عناصر به طور پاکیزه گرما تولید میکنند و هیچ ذرهای تولید نمیشود؛ این امر باعث کاهش آلودگی سطح ویفر میشود. نتیجه آن، کاهش تعداد محصولات بازسازی شده، کاهش میزان ضایعات، و زمانهای تولید قابل پیشبینی است. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا دمای مورد نظر به سرعت تحقق مییابد و انرژی اضافی صرف نمیشود.
نکات مهم:
این عناصر در صورتی بهترین عملکرد را دارند که با محیط و جرم حرارتی مربوطه سازگار باشند. اگر نحوه نصب این عناصر مناسب نباشد، مناطق گرم در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. ولتاژ و نوع کانکتور باید با رابطات دستگاه سازگار باشد؛ همچنین باید از سیستمهای مکانیکی مناسب برای جلوگیری از نشت گاز استفاده شود. در شرایط رطوبت بالا، باید به عایقبندی سیمها توجه کرد و برنامههای بازرسی منظمی داشت. با تنظیم و کالیبراسیون مناسب، این عناصر میتوانند ۲۴ ساعته کار کنند و دمای خروجی آنها نیز ثابت باقی خواهد ماند.