دیگر نیازی نیست منتظر فر کار باشید؛ چرا که روش گرمایش مادون قرمز در فرآیندهای نیمههادی بسیار بهتر است.
بسیاری از خطوط تولید نیمههادی هنوز از روش گرمایش با هوای داغ استفاده میکنند. اگر تجربه کار با این روش را داشته باشید، میدانید که چقدر زمانبر است. ابتدا هوا گرم میشود، سپس اتاق گرم میشود و در نهایت ویفر گرم میگردد. این فرآیند بسیار آهسته است؛ در واقع مثل انتظار جوشیدن آب در یک قابلمه بزرگ است، در حالی که شما فقط نیاز به گرم کردن سریع ویفر دارید.
به همین دلیل، بسیاری از افراد از روش گرمایش مادون قرمز استفاده میکنند. این روش، واسطههای غیرضروری را حذف میکند؛ یعنی انرژی مستقیماً به ویفر منتقل میشود.
هزینه واقعی انتظار
سیستمهای گرمایش با هوای داغ دارای «انرژی حرارتی زیادی» هستند؛ یعنی برای گرم شدن، زمان زیادی لازم است. شما باید دقایق زیادی را صرف انتظار برای رسیدن اتاق به دمای مناسب کنید.
اما با روش گرمایش مادون قرمز، این کار در عرض چند ثانیه انجام میشود. برای مهندسان، این یک مزیت بزرگ است؛ شما نه تنها در هزینههای برق صرفهجویی میکنید، بلکه تعداد ویفرهای تولید شده در هر ساعت نیز افزایش مییابد.
مشکلات مربوط به کابلها
مشکلات معمولاً در مورد کابلها پیش میآید. کابلهای PVC استاندارد در این شرایط بیفایده هستند؛ زیرا در معرض حرارت زیاد ذوب میشوند. به همین دلیل از کابلهای پوشیده شده با تفلون استفاده میکنیم؛ این کابلها میتوانند در معرض حرارت زیاد نیز عمل کنند، بدون اینکه کارایی خود را از دست بدهند.
این روش جادویی نیست
البته، روش گرمایش مادون قرمز راهحل کاملی نیست؛ زیرا حرارت در این روش در یک جهت خاص منتقل میشود. بنابراین باید مراقب محل قرارگیری لامپها باشید. اگر کمی اشتباه کنید، نقاط سردی روی ویفر ایجاد خواهد شد.
نمیتوانید یک هیتر مادون قرمز را در یک فر قدیمی قرار دهید و امیدوار به نتیجه خوب باشید؛ باید مسیر کابلها را به دقت برنامهریزی کنید. کابلهای تفلونی را از مسیر مستقیم لامپها دور نگه دارید؛ در غیر این صورت، مجبور خواهید بود آنها را زودتر تعویض کنید.
با این حال، برای کسانی که خطوط تولید با دقت بالا دارند، روش گرمایش مادون قرمز بهترین گزینه است؛ زیرا باعث کاهش زمان انتظار میشود.