در مرحله پردازش، ویفر از آب خارج میشود و زمان شروع فرآیند اندازهگیری آغاز میگردد. هرگونه رطوبت باقیمانده، منجر به ایجاد مشکلاتی مانند اتصالات نامناسب بین قسمتهای مختلف ویفر میشود؛ این مشکلات را نمیتوان تحمل کرد. لازم است که مرحله خشکسازی به گونهای انجام شود که آب به سرعت از روی ویفر حذف شود؛ بدون اینکه باعث افزایش دما یا ایجاد ذرات در ویفر شود.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما لامپ حذف رطوبت را با استفاده از امواج مادون قرمز کوتاه، در یک پوشش کوارتزی، ساختهایم؛ همچنین، استفاده از ساختارهای بازتابنده، باعث میشود که گرما فقط روی فیلم ویفر تأثیر بگذارد، نه روی بخشهای دیگر آن. این امر باعث میشود که دمای فیلم در کل ناحیه تحت تأثیر قرار گرفته، در محدوده مشخص شده باقی بماند. سازگاری با محیطهای تمیز نیز مهم است؛ عملکرد در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰، با استفاده از سختافزارهایی که گاز کمی تولید میکنند، و همچنین با استفاده از اتصالات بسته، امکانپذیر است. تکرارپذیری خروجی نیز در حد ۱٪ در طول هزاران چرخه حفظ میشود؛ همچنین، سیستم میتواند به سرعت به تغییرات دمایی واکنش نشان دهد تا ابعاد حیاتی ویفر پایدار بمانند.
چرا این لامپ در فرآیند لیتوگرافی مفید است؟
در فرآیند لیتوگرافی، این لامپ رطوبت سطحی ویفر را قبل از لایهبرداری از روی آن، از بین میبرد؛ بنابراین مشکلاتی مانند کاهش رطوبت سطحی وجود نخواهد داشت. همچنین، این لامپ دمای یکنواختی را در همان نقطه، در هر بار تشعشع، فراهم میکند؛ بنابراین دمای بخشهای مختلف ویفر تغییر نخواهد کرد. چنین یکنواختی، زمان لازم برای آمادهسازی ویفر را کاهش میدهد، کارهای تکراری را کم میکند، و مصرف انرژی را نیز کاهش میدهد؛ زیرا لامپ فقط ناحیه مورد نظر را گرم میکند. قابلیت اطمینان این لامپ نیز به این صورت است که دستگاهها میتوانند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کاهش قابل توجهی در خروجی وجود داشته باشد؛ همچنین، فاصلههای زمانی بین تعمیرات نیز طولانیتر میشود، بدون اینکه خطراتی ایجاد شود.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شود؟
این لامپ با رابطهای استاندارد SEMI کار میکند، اما برای یکپارچهسازی آن، باید به فاصلههای حرارتی و مسیرهای خروج گاز توجه کرد. پوشش کوارتزی این لامپ، در برابر ضربات مکانیکی مقاوم نیست؛ بنابراین، نحوه جابجایی و نصب آن باید مطابق با مقادیر مشخص شده باشد. همچنین، باید از کابلهای مناسب برای تأمین انرژی و سیگنال استفاده کرد؛ همچنین باید مطمئن شد که گازهای مورد استفاده و مواد مربوط به فرآیند، با فهرست مواد مورد نیاز سازگار باشند.