http://smart-ir-heater.com/fa/tags/%D8%AF%D9%82%D8%AA/ Recent content in دقت on Smart Infrared Heating Systems Hugo fa Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/fa/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/fa/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="سنسور مادون قرمز دقیق برای ویفرها"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، مرحله حرارت‌دهی، صرفاً یک مرحله آماده‌سازی نیست؛ بلکه خود همان فرآیند اصلی است.<br> تغییر دما در حد ۲ درجه سانتی‌گراد در مرحله حرارت‌دهی ملایم، باعث تغییر نقطه ذوب فوتورزیست می‌شود؛ همچنین، عدم یکنواختی در دما در مرحله حرارت‌دهی شدید، منجر به اختلافات در اندازه خطوط روی ویفر می‌شود. شما به کنترل دقیق دما نیاز دارید؛ نه چیزی که بتوانید روی آن حساب نکنید.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:</strong><br> ما از سنسورهای IR دقیق بر روی ویفر استفاده می‌کنیم؛ این سنسورها باعث حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد می‌شوند؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز در حد ±۰.۰۵ درجه سانتی‌گراد است. سر سنسور نیز مناسب برای محیط‌های پاکسازی‌شده با کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، این سنسور‌ها طوری طراحی شده‌اند که هیچ ذره‌ای تولید نکنند. منبع تابش کوارتز/هالوژن نیز باعث تولید سیگنال‌های قابل اعتماد و یکنواخت می‌شود؛ بدون وجود نقاط داغ.<br> این سیستم، فرآیند حرارت‌دهی فوتورزیست را در محدوده دمایی ۹۰ تا ۲۵۰ درجه سانتی‌گراد انجام می‌دهد؛ همچنین، این سیستم برای کار ۲۴/۷، بدون هیچ وقفه‌ای، طراحی شده است.</p>