http://smart-ir-heater.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on Smart Infrared Heating Systems Hugo fa Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800 http://smart-ir-heater.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800 http://smart-ir-heater.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="لامپ فر لیتوگرافی نیمههادی"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در دمای حرارت دادن فوتورزیست، می‌تواند باعث تغییر ضخامت خطوط روی ویفر شود؛ و این موضوع منجر به از بین رفتن مقادیر زیادی از محصولات تولید شده می‌شود. ما لامپ مورد استفاده در فرآیند لیتوگرافی را با توجه به این واقعیت طراحی کرده‌ایم؛ از نور مادون قرمز کوتاه‌امواج برای ایجاد گرمای سریع و مستقیم استفاده شده تا مراحل حرارتی حیاتی به خوبی کنترل شوند.</p> <p><strong>نکات فنی مهم:</strong> لامپ در باند مادون قرمز کار می‌کند؛ بنابراین فوتورزیست به خوبی گرما را جذب می‌کند. زمان لازم برای گرم شدن کاهش می‌یابد، اما سطح ویفر همچنان در دمای مناسبی باقی می‌ماند. در سراسر ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ همچنین، با استفاده از دستگاه‌های اندازه‌گیری دما، قابلیت تکرارپذیری فرآیند نیز کنترل می‌شود. سازگاری با اتاق‌های پاک نیز مهم است؛ مواد مورد استفاده مطابق استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند، هیچ گازی از آن‌ها خارج نمی‌شود، و طراحی سیستم نیز به گونه‌ای است که از وجود ذرات در محیط جلوگیری شود. این سیستم می‌تواند ۲۴/۷ کار کند و نیاز به تعمیرات پیش‌بینی‌شده نیز ندارد؛ بنابراین توقفات غیرمنتظره در فرآیند تولید رخ نخواهد داد.</p>