Sensor on Smart Infrared Heating Systems

سنسور دما برای ابزار ویفر

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

جلوگیری از بارش شیشه‌ها: نگهداری وفرهای سیلیکونی در حالت تمیز، در صورت خرابی لامپ‌ها
در کارخانه‌های تولید نیمه‌هادی، خرابی لامپ‌ها مشکلی ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه است. وقتی لامپ‌های مادون قرمز در شرایط بار سنگین خراب می‌شوند، شما نه تنها با توقف فعالیت مواجه می‌شوید، بلکه با تکه‌های شیشه و گازهای هالوژنی که روی سطح وفرهای سیلیکونی پاشیده می‌شوند، نیز روبرو می‌شوید.
ما لامپ‌های مادون قرمز خود را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.

گرمکن خشککن ویفر سنسور MEMS

Sun, 19 Jul 2026 07:51:21 +0800

وقتی که ویفرهای سنسورهای MEMS را پس از شستشوی شیمیایی خشک می‌کنید، در واقع در حال عبور از یک مسیر بسیار حساس هستید. برای انجام این کار، به گرمای زیادی نیاز است؛ اما این کار را درست کنار مواد حلال قابل اشتعال انجام می‌دهید. یک اشتباه کوچک می‌تواند منجر به مشکلات جدی شود.

به همین دلیل، از لامپ‌های مادون قرمز با امواج کوتاه استفاده می‌کنیم. این لامپ‌ها، گرمای زیادی را در مدت زمان کوتاهی به ویفرها اعمال می‌کنند؛ در نتیجه، مایعات موجود در ویفرها بلافاصله تبخیر می‌شوند، قبل از اینکه سطح ویفر دچار گرمای بیش از حد شود.

بستهبندی سنسورهای هوشمند مادون قرمز

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

دریافت داده‌های حرارتی صحیح در کارخانه‌های هوشمند
اگر قصد ساخت یک کارخانه مطابق استانداردهای صنعت ۴.۰ را دارید، احتمالاً متوجه شده‌اید که روش سنتی فقط افزایش دما، دیگر کافی نیست. شما به سیستمی نیاز دارید که بتواند وضعیت واقعی کارخانه را به شما نشان دهد.

ما از سیستم‌های مادون قرمز با حسگرهای هوشمند برای تبدیل گرمای خام به داده‌های قابل استفاده استفاده می‌کنیم. موضوع فقط گرم کردن قطعات نیست؛ بلکه باید بتوانیم نقشه حرارتی کل خط تولید را در حین کار، مشاهده کنیم.

هیتر برای تولید سنسور هیدروژن

Thu, 16 Jul 2026 01:13:06 +0800

متوقف کنید هدر رفتن گرما در تولید سنسورهای هیدروژن

هنگام تولید سنسورهای هیدروژن، پروفیل گرمایی روی ویفر باید دقیق باشد؛ هیچ جایی برای حدس و گمان وجود ندارد. برای رسیدن به این هدف، از لامپ‌های گرمایشی تخصصی و منعکس‌کننده‌های پوشیده شده با طلا استفاده می‌کنیم.
هدف خیلی ساده است: می‌خواهیم هر وات از انرژی وارد شده به سطح ویفر، در همان جا باقی بماند و به هوا از بین نرود.

چرا طلا؟

بیشتر مردم از منعکس‌کننده‌های آلومینیومی استفاده می‌کنند، اما مشکل اینجاست که آن‌ها انرژی زیادی را جذب و پراکنده می‌کنند.
ما به استفاده از طلا روی آوردیم؛ زیرا طلا در بازتاب نور مادون قرمز عملکرد فوق‌العاده‌ای دارد. به جای اینکه بدنه لامپ گرما را جذب کند، طلا آن را دوباره به سمت ویفر هدایت می‌کند. در نتیجه، نقطه تمرکز گرما دقیق‌تر می‌شود و دمای سطح ویفر در سراسر آن یکنواخت خواهد بود. این روش عملکرد بهتری دارد.

سنسور مادون قرمز دقیق برای ویفرها

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

در فرآیند لیتوگرافی، مرحله حرارت‌دهی، صرفاً یک مرحله آماده‌سازی نیست؛ بلکه خود همان فرآیند اصلی است.
تغییر دما در حد ۲ درجه سانتی‌گراد در مرحله حرارت‌دهی ملایم، باعث تغییر نقطه ذوب فوتورزیست می‌شود؛ همچنین، عدم یکنواختی در دما در مرحله حرارت‌دهی شدید، منجر به اختلافات در اندازه خطوط روی ویفر می‌شود. شما به کنترل دقیق دما نیاز دارید؛ نه چیزی که بتوانید روی آن حساب نکنید.

آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:
ما از سنسورهای IR دقیق بر روی ویفر استفاده می‌کنیم؛ این سنسورها باعث حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد می‌شوند؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز در حد ±۰.۰۵ درجه سانتی‌گراد است. سر سنسور نیز مناسب برای محیط‌های پاکسازی‌شده با کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، این سنسور‌ها طوری طراحی شده‌اند که هیچ ذره‌ای تولید نکنند. منبع تابش کوارتز/هالوژن نیز باعث تولید سیگنال‌های قابل اعتماد و یکنواخت می‌شود؛ بدون وجود نقاط داغ.
این سیستم، فرآیند حرارت‌دهی فوتورزیست را در محدوده دمایی ۹۰ تا ۲۵۰ درجه سانتی‌گراد انجام می‌دهد؛ همچنین، این سیستم برای کار ۲۴/۷، بدون هیچ وقفه‌ای، طراحی شده است.