Capteur on Smart Infrared Heating Systems

Capteur de température pour outil de wafer

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

Arrêter la pluie de verre : garder vos wafers propres en cas de défaillance des lampes
Dans une usine de semi-conducteurs, la panne d’une lampe n’est pas simplement un ennui : c’est un vrai cauchemar. Lorsqu’un tube infrarouge explose sous charge élevée, on ne doit pas seulement faire face à des temps d’arrêt, mais aussi aux éclats de quartz et au gaz halogène qui se répandent sur les surfaces des wafers.

Nous avons conçu nos lampes infrarouges pour éviter que cela ne se produise.

Chauffage de séchage des puces sensibles MEMS

Sun, 19 Jul 2026 07:51:15 +0800

Lorsque l’on sèche les wafer des capteurs MEMS après un nettoyage chimique, on marche sur une corde raide. Il faut de la chaleur intense pour accomplir cette tâche, mais cela se fait juste à côté de solvants inflammables. Un faux mouvement suffit pour créer un problème sérieux.

C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde. Elles projettent une chaleur intense et rapide sur les wafer, ce qui permet de faire évaporer les liquides avant même que le reste du substrat ne s’échauffe trop.

Emballage de capteur intelligent infrarouge

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

Obtenir des données thermiques précises dans une usine intelligente
Si vous planifiez la création d’une usine de type Industry 4.0, vous avez probablement réalisé que l’ancienne méthode consistant simplement à augmenter la température ne suffit plus. Il vous faut un système capable de vous informer réellement de ce qui se passe.

Nous utilisons des systèmes infrarouges équipés de capteurs intelligents pour transformer l’énergie thermique brute en données exploitables. Il ne s’agit pas seulement de réchauffer une pièce ; il s’agit plutôt de visualiser l’ensemble de la carte thermique de votre ligne de production en temps réel.

Chauffage pour la fabrication de capteurs d hydrogène

Thu, 16 Jul 2026 01:13:04 +0800

Arrêtez de gaspiller de la chaleur dans votre usine de fabrication de capteurs à hydrogène
Lors de la fabrication de capteurs à hydrogène, il est essentiel que le profil thermique du substrat soit parfaitement contrôlé. Pas de place pour les approximations. Pour y parvenir, nous utilisons des lampes de chauffage spécialisées ainsi que des réflecteurs recouverts d’or.
L’objectif est simple : nous voulons que chaque watt d’énergie atteigne bien le substrat, sans être perdu dans l’air.
Pourquoi de l’or ?
La plupart des gens commencent avec des réflecteurs en aluminium, mais le problème est qu’ils absorbent et dispersent beaucoup trop d’énergie. Nous avons donc opté pour de l’or de haute pureté, car il reflète incroyablement bien la lumière infrarouge. Au lieu que le boîtier du chauffage absorbe la chaleur, l’or la renvoie directement vers le substrat. Cela permet d’obtenir un point focal plus précis, ainsi qu’une température uniforme sur toute la surface du substrat. C’est simplement plus efficace.
Équilibrer puissance et chaleur
Lorsque vous consultez les spécifications d’un chauffage, c’est le rapport entre la puissance et la surface qui indique à quelle vitesse vous pourrez augmenter la température. Les lampes à forte puissance sont idéales pour les cycles thermiques rapides nécessaires à la déposition de couches minces. Mais il y a un problème : lorsque tant de chaleur est concentrée dans un petit espace, les systèmes de refroidissement doivent être capables de gérer la chaleur restante. Sinon, le cadre du dispositif peut se déformer, ce qui rend son réparation très difficile.
Mise en pratique
Nous avons conçu ces chauffages pour qu’ils puissent remplacer directement les anciens modèles. Vous n’avez pas besoin de réinstaller tout l’équipement. En remplaçant les réflecteurs par des réflecteurs recouverts d’or, vous pouvez généralement atteindre les températures souhaitées tout en consommant moins d’énergie. C’est une solution gagnant-gagnant : cela soulage les alimentations électriques et évite que les filaments ne s’usent trop rapidement.
Si vous remarquez des zones froides sur vos substrats ou si les temps de traitement sont trop longs, c’est probablement parce que vous n’avez pas besoin de “plus de puissance”. Il s’agit souvent simplement de pertes liées aux radiations. En corrigeant la géométrie du flux thermique grâce à un système recouvert d’or, ce problème disparaît généralement.

Capteur IR de précision pour gaufre

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

Sur le plateau de lithographie, le processus de cuisson n’est pas simplement une étape préparatoire ; c’est bien le processus principal. Un écart de 2 °C pendant la cuisson douce peut provoquer des variations dans la température de transition vitreuse du photorésiste. De plus, les irrégularités liées à la cuisson forte se manifestent sous forme d’anomalies aux bords et dans la largeur des lignes tracées. Il est donc essentiel d’avoir un contrôle de température fiable, et non quelque chose sur quoi on ne peut pas compter.