Lampe chauffante pour l élimination de l humidité dans les wafer

Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800

Sur le plan de fabrication, l’humidité présente dans le photorésistant ou directement sur la surface de la wafer peut endommager les dimensions critiques après l’exposition. Si on ne se débarrasse pas de cette humidité, cela entraîne des problèmes tels que des défauts de surface ou des résidus d’usinage qui peuvent rendre toute une série de wafer non exploitables. C’est pourquoi nous utilisons une lampe de séchage de l’humidité présente sur les wafer : elle élimine les variations dues à l’humidité.

Lampe de déshydratation des wafers

Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800

Une fois le wafer sorti du bain de rinçage, le compteur commence à tourner. Toute humidité restante se manifeste sous forme de défauts sur la couche de résist, ou bien entraîne des problèmes que l’on ne peut pas tolerer. Il est donc nécessaire d’avoir une étape de séchage rapide, sans pour autant consommer trop d’énergie ou ajouter des particules inutiles.

Ce qui est important en termes de fonctionnement interne Nous avons conçu notre lampe de séchage en utilisant des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, dans un enveloppement en quartz. La géométrie du réflecteur permet de diriger la chaleur vers la pellicule, et non vers le support sur lequel elle est appliquée. Cela assure une uniformité spatiale de ±0,1 °C dans toute la zone éclairée, ce qui permet au taux de température de la couche de résist de rester dans les limites prévues pendant les processus de séchage. La compatibilité avec les salles propres n’est pas un problème : le fonctionnement en classe 1–100 est assuré par des composants à faible émission de gaz, des joints étanches, ainsi qu’un profil de particules stable. La répétabilité des performances reste comprise entre 1 % après des milliers de cycles, et le système ajuste rapidement sa température de fonctionnement pour maintenir les dimensions critiques stables.

Humidité on Smart Infrared Heating Systems

Lampe chauffante pour l élimination de l humidité dans les wafer

Lampe de déshydratation des wafers