בשלב זה, הוופר יוצא מתהליך השטיפה, והשעון מתחיל לעבוד. כל לחות שנשארת גורמת לבעיות כמו יצירת “גשרים” בין החומרים, או לירידה באיכות המוצר – בעיות שאי אפשר לקבל. יש צורך בשלב יבש שיסיר את המים במהירות – מבלי לפגוע ביכולות החימום של המערכת או להוסיף חלקיקים.
מה חשוב בתהליך העבודה
בנינו את המנורה להסרת הלחות על בסיס קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, בתוך מעטפת קוורץ. הגאומטריה של המחזיר מאפשרת העברת החום לחומר שעליו יש לחמם, ולא לחלקים האחרים. כך נשמרת אחידות טמפרטורה של ±0.1°C בכל אזור החימום, כך שטמפרטורת החומר נשארת בטווח המותר במהלך תהליכי החימום. יכולת ההתאמה לסביבות נקיות אינה בעייה – המערכת עובדת ברמות 1–100, וזה מושג בזכות ציוד עם פליטת גזים נמוכה, חיבורים אטומים, ורמת חלקיקים יציבה. רמת החזריות של המערכת נשארת בתוך 1% לאורך אלפי מחזורים, והמערכת מסוגלת לשלוט בטמפרטורה בתגובה של מילישניות, כך שהממדים החיוניים נשארים יציבים.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה
בתהליכי ליתוגרפיה, המנורה מסירה את הלחות מהפני השטח רגע לפני שמורחים את החומר, כך שנמנעות בעיות כמו לחות עודפת או יצירת גושים בקצוות. בתהליכי חימום, המנורה מבטיחה טמפרטורה אחידה באותו מקום, בכל פעם שהיא פועלת. כך נמנעות שינויים בטמפרטורה. רמת האחידות הזו מקצרת את זמן ההכנה, מפחיתה את הצורך בתיקונים, ומפחיתה את צריכת האנרגיה – כיוון שהמנורה מחממת רק את האזור הרצוי. האמינות של המערכת באה לידי ביטוי בזמן הפעולה הארוך – המערכת יכולה לפעול יותר מ-5,000 שעות עם ירידה של פחות מ-5% באיכות היצוא, ומשך הזמן בין התיקונים ארוך יותר, מבלי להגדיל את הסיכון.
על מה צריך לשים לב
המנורה עובדת עם הממשקים הסטנדרטיים של SEMI, אך עדיין יש צורך לשים לב להיבטים תרמיים ולמסלולי הפליטה של הגזים. המעטפת הקוורץ אינה עמידה לזעזועים מכניים, לכן יש צורך לטפל בה ולהרכיב אותה בהתאם להנחיות המפורטות. יש צורך במערכת אספקת חשמל ואותות שמתאימה לסביבות נקיות, ויש לוודא שגזי התהליך ומערכות הפליטה תואמים את רשימת החומרים הנדרשים.