חיישן אינפרא אדום מדויק לווהלים

בתהליך הליתוגרפיה, החימום אינו רק שלב הכנה – זהו חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו. שינוי של 2°C במהלך החימום עלול לגרום לשינוי בנקודת ההתכה של הפוטורזיסט;...