מנורת ייבוש של קטליזטור תא דלק

על הקו, דראפט אינו אופציה. התקציב התרמי של וופר בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט נמדד בשניות ובמעלות. שכבת הקטליזטור בערימת תאי דלק אינה סובלנית...