http://smart-ir-heater.com/he/tags/removal/ Recent content in Removal on Smart Infrared Heating Systems Hugo he Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="נורת חימום להסרת לחות מהוופרים"></p> <p>בחדר הייצור, לחות שנשארת – בין אם בתוך חומר הפוטורזיסט או על פני הוואפר עצמו – עלולה לפגוע בממדים החשובים של הוואפר לאחר החשיפה. אם לא מוציאים את הלחות הזו, נוצרים שאריות של לחות וחומרים אחרים, שעלולים להרוס את כל הוואפרים. לכן אנו משתמשים במנורות להסרת לחות מהוואפרים – הן מסירות את השינויים שנגרמים כתוצאה מהלחות.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> יצרנו את המנורות האלו כך שיפעלו בצורה יעילה ומהירה. חומרי ההלוגן מספקים אור בעוצמה גבוהה ובגלים קצרים, כך שהפני השטח של הוואפר מתחממים במהירות. המעטפת הקוורץ של המנורה שומרת על סביבה נקייה ויציבה, גם בשימוש מתמשך. התוצאה היא אחידות טמפרטורית ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C באזור הפעיל, מה שמאפשר תהליכי חימום חוזרים ויציבים. שליטה בטמפרטורה היא מדויקת מספיק כדי להגן על חומר הפוטורזיסט, והאור שנוצר מספיק חזק כדי לייבש את הוואפר במהירות, מבלי לגרום לעודף חום.</p> http://smart-ir-heater.com/he/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800 http://smart-ir-heater.com/he/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="מנורה להסרת לחות מהוופרים"></p> <p>בשלב זה, הוופר יוצא מתהליך השטיפה, והשעון מתחיל לעבוד. כל לחות שנשארת גורמת לבעיות כמו יצירת “גשרים” בין החומרים, או לירידה באיכות המוצר – בעיות שאי אפשר לקבל. יש צורך בשלב יבש שיסיר את המים במהירות – מבלי לפגוע ביכולות החימום של המערכת או להוסיף חלקיקים.</p> <p><strong>מה חשוב בתהליך העבודה</strong><br> בנינו את המנורה להסרת הלחות על בסיס קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, בתוך מעטפת קוורץ. הגאומטריה של המחזיר מאפשרת העברת החום לחומר שעליו יש לחמם, ולא לחלקים האחרים. כך נשמרת אחידות טמפרטורה של ±0.1°C בכל אזור החימום, כך שטמפרטורת החומר נשארת בטווח המותר במהלך תהליכי החימום. יכולת ההתאמה לסביבות נקיות אינה בעייה – המערכת עובדת ברמות 1–100, וזה מושג בזכות ציוד עם פליטת גזים נמוכה, חיבורים אטומים, ורמת חלקיקים יציבה. רמת החזריות של המערכת נשארת בתוך 1% לאורך אלפי מחזורים, והמערכת מסוגלת לשלוט בטמפרטורה בתגובה של מילישניות, כך שהממדים החיוניים נשארים יציבים.</p>