फैब फ्लोर पर, स्थिति बहुत ही संवेदनशील होती है। फोटोरेसिस्ट के “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में ±2°C का अंतर भी महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है। सूखने की प्रक्रिया के दौरान कणों की मात्रा में वृद्धि होने से पूरा उत्पाद नष्ट हो सकता है। हमने उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ऊष्मा-स्रोत विकसित किए हैं, ताकि ऊष्मा-संबंधी प्रक्रियाएँ अनुमानित, स्थिर एवं दोहराने योग्य रहें… खासकर तब, जब प्रक्रिया में थोड़ा सा भी विचलन होना घातक हो सकता है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
ये ऊष्मा-स्रोत नियंत्रित OH सामग्री वाले क्वार्ट्ज से बने हैं; इसलिए वैक्यूम एवं क्लीनरूम वातावरण में गैसों का उत्सर्जन कम रहता है। इनकी प्रतिक्रिया गति तेज है, एवं सक्रिय क्षेत्र में तापमान में ±0.1°C की सटीकता है… इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही प्रक्रियाओं में वेफरों पर तापमान-असमानताएँ कम हो जाती हैं। ऊष्मा-स्रोत जल्दी ही स्थिर हो जाता है… इससे निष्क्रिय अवस्था से प्रक्रिया शुरू होने में लगने वाला समय कम हो जाता है। इन्फ्रारेड ऊर्जा हजारों घंटों तक स्थिर रहती है… इससे फोटोरेसिस्ट का उपचार स्थिर रहता है, एवं ऊष्मा-संबंधी समस्याएँ नहीं होतीं।
उत्पादन में ये ऊष्मा-स्रोत क्यों उपयोगी हैं?
लिथोग्राफी में, ये क्वार्ट्ज ऊष्मा-स्रोत प्री-बेक, पोस्ट-बेक एवं उपचार प्रक्रियाओं में स्थिर तापमान प्रदान करते हैं… इससे वेफरों की चौड़ाई नियंत्रण में रहती है। वेफरों को सूखाने की प्रक्रिया में, ये ऊष्मा-स्रोत बिना किसी कण-निर्माण के ही ऊष्मा प्रदान करते हैं… इससे सतह पर प्रदूषण कम रहता है। इसका परिणाम यह है कि पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, अपशिष्ट कम हो जाता है, एवं प्रक्रिया-समय भी कम हो जाता है। ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है, एवं अतिरिक्त ऊर्जा की आवश्यकता नहीं होती।
उपयोग संबंधी नोट्स:
ये ऊष्मा-स्रोत तभी सर्वोत्तम प्रदर्शन देते हैं, जब वे चेंबर की ज्यामिति एवं ऊष्मा-संबंधी परिस्थितियों के अनुरूप हों। यदि इनकी स्थापना ठीक न हो, तो स्थानीय रूप से तापमान अधिक हो जाता है। वोल्टेज एवं कनेक्टर-प्रकार भी उपकरण के इंटरफेस के अनुरूप होने चाहिए… साथ ही, क्लीनरूम-अनुकूल यांत्रिक सील भी आवश्यक है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, टर्मिनलों की इन्सुलेशन सुनिश्चित करना आवश्यक है… एवं नियमित निरीक्षण भी आवश्यक है। उचित संरेखण एवं कैलिब्रेशन के साथ, ये ऊष्मा-स्रोत 24/7 स्थिर रूप से काम करते हैं… एवं रखरखाव भी आसान हो जाता है।